原子能科学技术
原子能科學技術
원자능과학기술
ATOMIC ENERGY SCIENCE AND TECHNOLOGY
2000年
1期
65-70
,共6页
姚振宇%郝嘉琨%周长善%山常起
姚振宇%郝嘉琨%週長善%山常起
요진우%학가곤%주장선%산상기
氚渗透%氚阻挡层%非金属膜
氚滲透%氚阻擋層%非金屬膜
천삼투%천조당층%비금속막
利用物理气相沉积(PVD)方法在316L不锈钢表面分别镀制微米量级厚的TiN+TiC+TiN、TiN+TiC+SiO2复合膜.扫描电镜观察表明:膜致密,与基体结合牢固,抗氧化,抗热冲击.二次离子质谱(SIMS)和红外光谱(IR)分析结果证实:TiC和SiO2膜在300 ℃以上的氢中退火可形成抗氚渗透阻挡层.测量了不同温度下氚在带膜316L中的渗透率.在200～600 ℃范围内,镀有TiN+TiC+SiO2膜的316L的氚渗透率比镀钯316L降低4～6个数量级,镀TiN+TiC+TiN膜比镀钯膜降低4～5个数量级.这两种膜可用于聚变堆技术研究中第一壁、产氚包层及热交换器的表面涂层.
利用物理氣相沉積(PVD)方法在316L不鏽鋼錶麵分彆鍍製微米量級厚的TiN+TiC+TiN、TiN+TiC+SiO2複閤膜.掃描電鏡觀察錶明:膜緻密,與基體結閤牢固,抗氧化,抗熱遲擊.二次離子質譜(SIMS)和紅外光譜(IR)分析結果證實:TiC和SiO2膜在300 ℃以上的氫中退火可形成抗氚滲透阻擋層.測量瞭不同溫度下氚在帶膜316L中的滲透率.在200～600 ℃範圍內,鍍有TiN+TiC+SiO2膜的316L的氚滲透率比鍍鈀316L降低4～6箇數量級,鍍TiN+TiC+TiN膜比鍍鈀膜降低4～5箇數量級.這兩種膜可用于聚變堆技術研究中第一壁、產氚包層及熱交換器的錶麵塗層.
이용물리기상침적(PVD)방법재316L불수강표면분별도제미미량급후적TiN+TiC+TiN、TiN+TiC+SiO2복합막.소묘전경관찰표명:막치밀,여기체결합뢰고,항양화,항열충격.이차리자질보(SIMS)화홍외광보(IR)분석결과증실:TiC화SiO2막재300 ℃이상적경중퇴화가형성항천삼투조당층.측량료불동온도하천재대막316L중적삼투솔.재200～600 ℃범위내,도유TiN+TiC+SiO2막적316L적천삼투솔비도파316L강저4～6개수량급,도TiN+TiC+TiN막비도파막강저4～5개수량급.저량충막가용우취변퇴기술연구중제일벽、산천포층급열교환기적표면도층.
