中国稀土学报
中國稀土學報
중국희토학보
JOURNAL OF THE CHINESE RARE EARTH SOCIETY
2003年
z1期
41-43
,共3页
李季%王小平%王霈文%齐善学%李弢%古宏伟
李季%王小平%王霈文%齊善學%李弢%古宏偉
리계%왕소평%왕패문%제선학%리도%고굉위
Y1Ba2Cu2O7-δ%(YBCO)薄膜%溅射气体组分%(Ar/O2)%超导零电阻温度
Y1Ba2Cu2O7-δ%(YBCO)薄膜%濺射氣體組分%(Ar/O2)%超導零電阻溫度
Y1Ba2Cu2O7-δ%(YBCO)박막%천사기체조분%(Ar/O2)%초도령전조온도
采用倒筒直流磁控溅射系统在不同溅射气体组分下(氩氧比不同)原位沉积Y1Ba2Cu2O7-δ(YBCO)薄膜.样品的XRD分析发现在Ar含量过高和过低的溅射气氛下沉积的薄膜存在极少量的BaCuO2第二相, 同时显示薄膜的c轴长度, (006), (007)对(005)峰强度比随着溅射气体中Ar含量的变化而发生改变.通过薄膜超导零电阻温度检测发现, YBCO薄膜的超导零电阻温度Tc随之发生改变.这说明在磁控溅射沉积YBCO薄膜过程中, 溅射气体中Ar气含量影响薄膜各元素的化学计量比, Ar含量过高和过低导致沉积YBCO薄膜晶体结构发生畸变, 恶化超导电性.
採用倒筒直流磁控濺射繫統在不同濺射氣體組分下(氬氧比不同)原位沉積Y1Ba2Cu2O7-δ(YBCO)薄膜.樣品的XRD分析髮現在Ar含量過高和過低的濺射氣氛下沉積的薄膜存在極少量的BaCuO2第二相, 同時顯示薄膜的c軸長度, (006), (007)對(005)峰彊度比隨著濺射氣體中Ar含量的變化而髮生改變.通過薄膜超導零電阻溫度檢測髮現, YBCO薄膜的超導零電阻溫度Tc隨之髮生改變.這說明在磁控濺射沉積YBCO薄膜過程中, 濺射氣體中Ar氣含量影響薄膜各元素的化學計量比, Ar含量過高和過低導緻沉積YBCO薄膜晶體結構髮生畸變, 噁化超導電性.
채용도통직류자공천사계통재불동천사기체조분하(아양비불동)원위침적Y1Ba2Cu2O7-δ(YBCO)박막.양품적XRD분석발현재Ar함량과고화과저적천사기분하침적적박막존재겁소량적BaCuO2제이상, 동시현시박막적c축장도, (006), (007)대(005)봉강도비수착천사기체중Ar함량적변화이발생개변.통과박막초도령전조온도검측발현, YBCO박막적초도령전조온도Tc수지발생개변.저설명재자공천사침적YBCO박막과정중, 천사기체중Ar기함량영향박막각원소적화학계량비, Ar함량과고화과저도치침적YBCO박막정체결구발생기변, 악화초도전성.
