现代机械
現代機械
현대궤계
MODERN MACHINERY
2004年
1期
15-16
,共2页
杨宏亮%鲍剑斌%王志勇%贺德建
楊宏亮%鮑劍斌%王誌勇%賀德建
양굉량%포검빈%왕지용%하덕건
六轴力/力矩传感器%有限元分析%解耦%标定矩阵
六軸力/力矩傳感器%有限元分析%解耦%標定矩陣
륙축력/력구전감기%유한원분석%해우%표정구진
本文研制了一种用于MEMS样品测试的六轴微力传感器.首先采用有限元法对特定结构的传感器进行了静力学分析,确定了其布片方案;然后通过软件实现对传感器输出进行六轴力/力矩的解耦,这大大简化了后置解耦电路的设计并降低了成本;最后本文给出了六轴微力传感器的标定曲线,证明其可用于MEMS做样品力学特性测试.
本文研製瞭一種用于MEMS樣品測試的六軸微力傳感器.首先採用有限元法對特定結構的傳感器進行瞭靜力學分析,確定瞭其佈片方案;然後通過軟件實現對傳感器輸齣進行六軸力/力矩的解耦,這大大簡化瞭後置解耦電路的設計併降低瞭成本;最後本文給齣瞭六軸微力傳感器的標定麯線,證明其可用于MEMS做樣品力學特性測試.
본문연제료일충용우MEMS양품측시적륙축미력전감기.수선채용유한원법대특정결구적전감기진행료정역학분석,학정료기포편방안;연후통과연건실현대전감기수출진행륙축력/력구적해우,저대대간화료후치해우전로적설계병강저료성본;최후본문급출료륙축미력전감기적표정곡선,증명기가용우MEMS주양품역학특성측시.
