类金刚石薄膜的同步辐射光电子能谱研究
류금강석박막적동보복사광전자능보연구
Study of diamond-like carbon film by synchrotron radiation photoelectron spectroscopy
  • 万方数据
    核技术 핵기술
    NUCLEAR TECHNIQUES
    2005年 2期 89-92 ,共4页

    王嘉鸥%奎热西%买买提依明%苏润%钱海杰%洪才浩%程峰%李波

    왕가구%규열서%매매제의명%소윤%전해걸%홍재호%정봉%리파

    类金刚石薄膜(DLC)%X射线吸收谱(XAS)%X射线光电子能谱(XPS) 類金剛石薄膜(DLC)%X射線吸收譜(XAS)%X射線光電子能譜(XPS)
    류금강석박막(DLC)%X사선흡수보(XAS)%X사선광전자능보(XPS)
    利用同步辐射光电子能谱全电子产额模式(TEY)对石墨、金刚石薄膜和类金刚石薄膜(DLC)的ClsX射线吸收谱进行了研究.在高真空里表面净化处理后,在类金刚石薄膜的Cls吸收谱中分别观察到对应于金刚石sp3杂化结构成分和石墨sp2杂化结构成分的特征峰,说明了类金刚石薄膜是由碳sp2、sp3两种杂化结构无序混合形成的非晶碳结构;然后,测量了一系列类金刚石薄膜样品的Cls X射线光电子能谱(XPS),得到了每组样品的sp2/sp3成分比.
    이용동보복사광전자능보전전자산액모식(TEY)대석묵、금강석박막화류금강석박막(DLC)적ClsX사선흡수보진행료연구.재고진공리표면정화처리후,재류금강석박막적Cls흡수보중분별관찰도대응우금강석sp3잡화결구성분화석묵sp2잡화결구성분적특정봉,설명료류금강석박막시유탄sp2、sp3량충잡화결구무서혼합형성적비정탄결구;연후,측량료일계렬류금강석박막양품적Cls X사선광전자능보(XPS),득도료매조양품적sp2/sp3성분비.
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