计量学报
計量學報
계량학보
ACTA METROLOGICA SINICA
2005年
3期
204-206,252
,共4页
计量学%原子力显微镜%扫描探针%线宽测量%表征样板
計量學%原子力顯微鏡%掃描探針%線寬測量%錶徵樣闆
계량학%원자력현미경%소묘탐침%선관측량%표정양판
针对原子力显微镜(AFM)的线宽和轮廓的精确测量,对AFM探针的原位有效参数进行了定义和表征,提出使用AFM探针的原位有效参数对AFM的线宽测量结果进行修正的模型.采用有效半径和半内角表征AFM探针的复合形状,悬臂轴倾角表征探针的安装状态,设计了具有不同梯形截面的两个表征样板,通过对表征样板进行AFM和扫描电子显微镜(SEM)的比对测量获得了探针的原位有效参数.提出了在线宽测量中,当AFM的扫描轮廓线具有不同的斜度时分别采用的不同的修正公式.采用此公式和探针的原位参数对掩膜板的AFM线宽测量结果进行了修正.
針對原子力顯微鏡(AFM)的線寬和輪廓的精確測量,對AFM探針的原位有效參數進行瞭定義和錶徵,提齣使用AFM探針的原位有效參數對AFM的線寬測量結果進行脩正的模型.採用有效半徑和半內角錶徵AFM探針的複閤形狀,懸臂軸傾角錶徵探針的安裝狀態,設計瞭具有不同梯形截麵的兩箇錶徵樣闆,通過對錶徵樣闆進行AFM和掃描電子顯微鏡(SEM)的比對測量穫得瞭探針的原位有效參數.提齣瞭在線寬測量中,噹AFM的掃描輪廓線具有不同的斜度時分彆採用的不同的脩正公式.採用此公式和探針的原位參數對掩膜闆的AFM線寬測量結果進行瞭脩正.
침대원자력현미경(AFM)적선관화륜곽적정학측량,대AFM탐침적원위유효삼수진행료정의화표정,제출사용AFM탐침적원위유효삼수대AFM적선관측량결과진행수정적모형.채용유효반경화반내각표정AFM탐침적복합형상,현비축경각표정탐침적안장상태,설계료구유불동제형절면적량개표정양판,통과대표정양판진행AFM화소묘전자현미경(SEM)적비대측량획득료탐침적원위유효삼수.제출료재선관측량중,당AFM적소묘륜곽선구유불동적사도시분별채용적불동적수정공식.채용차공식화탐침적원위삼수대엄막판적AFM선관측량결과진행료수정.
