中国机械工程
中國機械工程
중국궤계공정
CHINA MECHANICAl ENGINEERING
2005年
z1期
419-421
,共3页
赵林林%徐晨%杨道虹%霍文晓%赵慧%沈光地
趙林林%徐晨%楊道虹%霍文曉%趙慧%瀋光地
조림림%서신%양도홍%곽문효%조혜%침광지
微机电系统%红外探测器%金/硅%共晶键合
微機電繫統%紅外探測器%金/硅%共晶鍵閤
미궤전계통%홍외탐측기%금/규%공정건합
利用硅微机械加工技术制备微机械Golay-cell红外探测器硅可动敏感薄膜,探测器气室由带薄膜结构硅片与带孔结构硅片键合密闭形成,气室中敏感气体吸收红外辐射而膨胀,使硅膜产生形变,借助硅膜电极板与金属电极板形成的平行板电容反映该形变变化量.运用Si/Ti/Au/Au/Ti/Si实现对探测器的金/硅共晶键合封装,形成气室,制备出探测器样品并初步得到响应.该键合方法能够进行选择区域键合,实验证明键合强度达到体硅强度.
利用硅微機械加工技術製備微機械Golay-cell紅外探測器硅可動敏感薄膜,探測器氣室由帶薄膜結構硅片與帶孔結構硅片鍵閤密閉形成,氣室中敏感氣體吸收紅外輻射而膨脹,使硅膜產生形變,藉助硅膜電極闆與金屬電極闆形成的平行闆電容反映該形變變化量.運用Si/Ti/Au/Au/Ti/Si實現對探測器的金/硅共晶鍵閤封裝,形成氣室,製備齣探測器樣品併初步得到響應.該鍵閤方法能夠進行選擇區域鍵閤,實驗證明鍵閤彊度達到體硅彊度.
이용규미궤계가공기술제비미궤계Golay-cell홍외탐측기규가동민감박막,탐측기기실유대박막결구규편여대공결구규편건합밀폐형성,기실중민감기체흡수홍외복사이팽창,사규막산생형변,차조규막전겁판여금속전겁판형성적평행판전용반영해형변변화량.운용Si/Ti/Au/Au/Ti/Si실현대탐측기적금/규공정건합봉장,형성기실,제비출탐측기양품병초보득도향응.해건합방법능구진행선택구역건합,실험증명건합강도체도체규강도.
