传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2006年
5期
2240-2244
,共5页
刘晓为%莫冰%王超%谭晓昀%许晓巍%齐向昆
劉曉為%莫冰%王超%譚曉昀%許曉巍%齊嚮昆
류효위%막빙%왕초%담효윤%허효외%제향곤
CMOS%微机械陀螺%ASIC
CMOS%微機械陀螺%ASIC
CMOS%미궤계타라%ASIC
在分析微机械陀螺接口电路工作原理的基础上,采用中电集团第24研究所的3μm10 V P-well标准模拟CMOS工艺设计并制作了微机械陀螺ASIC接口电路.电路HSPICE仿真灵敏度为0.252 mV/aF.芯片面积为5.5 mm×4.4 mm,在此工艺流片并进行了芯片测试.结果表明,在10 V电源电压下,其功耗为49.3 mW,输出摆幅为4.85±3.1 V,输出节点的零点偏离为0.15 V.此芯片具有微陀螺驱动及信号检测功能,可实现与微陀螺敏感结构的双片集成.
在分析微機械陀螺接口電路工作原理的基礎上,採用中電集糰第24研究所的3μm10 V P-well標準模擬CMOS工藝設計併製作瞭微機械陀螺ASIC接口電路.電路HSPICE倣真靈敏度為0.252 mV/aF.芯片麵積為5.5 mm×4.4 mm,在此工藝流片併進行瞭芯片測試.結果錶明,在10 V電源電壓下,其功耗為49.3 mW,輸齣襬幅為4.85±3.1 V,輸齣節點的零點偏離為0.15 V.此芯片具有微陀螺驅動及信號檢測功能,可實現與微陀螺敏感結構的雙片集成.
재분석미궤계타라접구전로공작원리적기출상,채용중전집단제24연구소적3μm10 V P-well표준모의CMOS공예설계병제작료미궤계타라ASIC접구전로.전로HSPICE방진령민도위0.252 mV/aF.심편면적위5.5 mm×4.4 mm,재차공예류편병진행료심편측시.결과표명,재10 V전원전압하,기공모위49.3 mW,수출파폭위4.85±3.1 V,수출절점적영점편리위0.15 V.차심편구유미타라구동급신호검측공능,가실현여미타라민감결구적쌍편집성.
