电子器件
電子器件
전자기건
JOURNAL OF ELECTRON DEVICES
2007年
1期
170-173
,共4页
张牧%张诚%陈才和%王金海%张波%岳泉
張牧%張誠%陳纔和%王金海%張波%嶽泉
장목%장성%진재화%왕금해%장파%악천
椭偏仪%光度法%虚拟仪器%Labview%C8051F020
橢偏儀%光度法%虛擬儀器%Labview%C8051F020
타편의%광도법%허의의기%Labview%C8051F020
本文介绍了一种基于Labview的光度式椭偏仪光学测量系统,用于进行透明薄膜厚度的精确测量.研究并推导出该系统的数学模型及椭偏参数的计算公式.基于C9051F020单片机设计出椭偏仪的控制器并使用Labview编写了测量软件.在测量软件中嵌入Matlab Script节点,完成复杂运算.通过对SiO2薄膜的测试,验证了仪器具有良好的可靠性和重复性,薄膜厚度误差小于100 A,折射率误差小于0.01.
本文介紹瞭一種基于Labview的光度式橢偏儀光學測量繫統,用于進行透明薄膜厚度的精確測量.研究併推導齣該繫統的數學模型及橢偏參數的計算公式.基于C9051F020單片機設計齣橢偏儀的控製器併使用Labview編寫瞭測量軟件.在測量軟件中嵌入Matlab Script節點,完成複雜運算.通過對SiO2薄膜的測試,驗證瞭儀器具有良好的可靠性和重複性,薄膜厚度誤差小于100 A,摺射率誤差小于0.01.
본문개소료일충기우Labview적광도식타편의광학측량계통,용우진행투명박막후도적정학측량.연구병추도출해계통적수학모형급타편삼수적계산공식.기우C9051F020단편궤설계출타편의적공제기병사용Labview편사료측량연건.재측량연건중감입Matlab Script절점,완성복잡운산.통과대SiO2박막적측시,험증료의기구유량호적가고성화중복성,박막후도오차소우100 A,절사솔오차소우0.01.
