激光与红外
激光與紅外
격광여홍외
LASER & INFRARED
2008年
8期
796-798
,共3页
王银珍%初本莉%何琴玉%徐军
王銀珍%初本莉%何琴玉%徐軍
왕은진%초본리%하금옥%서군
ZnO薄膜%磁控溅射%LiNbO3
ZnO薄膜%磁控濺射%LiNbO3
ZnO박막%자공천사%LiNbO3
采用磁控溅射法在(001)LiNbO3衬底上制备了ZnO薄膜,并对其进行了退火处理.利用X射线衍射仪(XRD)、紫外一可见光谱仪和光致发光谱(PL)对ZnO薄膜的结构和光学性能进行了分析.结果表明,ZnO薄膜具有(002)的择优取向,退火后ZnO薄膜的(002)衍射峰的强度增强,半高宽减小,(002)峰向高角度方向移动.退火后样品可见光透过率增加,光学带隙发生红移.退火后的样品,紫外发光峰强度增强,可见光发光峰强度相对减弱.
採用磁控濺射法在(001)LiNbO3襯底上製備瞭ZnO薄膜,併對其進行瞭退火處理.利用X射線衍射儀(XRD)、紫外一可見光譜儀和光緻髮光譜(PL)對ZnO薄膜的結構和光學性能進行瞭分析.結果錶明,ZnO薄膜具有(002)的擇優取嚮,退火後ZnO薄膜的(002)衍射峰的彊度增彊,半高寬減小,(002)峰嚮高角度方嚮移動.退火後樣品可見光透過率增加,光學帶隙髮生紅移.退火後的樣品,紫外髮光峰彊度增彊,可見光髮光峰彊度相對減弱.
채용자공천사법재(001)LiNbO3츤저상제비료ZnO박막,병대기진행료퇴화처리.이용X사선연사의(XRD)、자외일가견광보의화광치발광보(PL)대ZnO박막적결구화광학성능진행료분석.결과표명,ZnO박막구유(002)적택우취향,퇴화후ZnO박막적(002)연사봉적강도증강,반고관감소,(002)봉향고각도방향이동.퇴화후양품가견광투과솔증가,광학대극발생홍이.퇴화후적양품,자외발광봉강도증강,가견광발광봉강도상대감약.
