光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2010年
8期
1754-1759
,共6页
离轴三反系统%计算机辅助装调%干涉检验%灵敏度矩阵
離軸三反繫統%計算機輔助裝調%榦涉檢驗%靈敏度矩陣
리축삼반계통%계산궤보조장조%간섭검험%령민도구진
针对离轴三反光学系统检测和装调的复杂性,提出了一套结合了干涉测量技术的计算机辅助装调方法.采用多视场ZYGO干涉仪自准干涉检验各种失调量产生的残余像差,得到表征系统失调量引起残余像差的一系列Zernike系数,利用Zernike系数与Seidel像差系数之间的相关性将之转化为几何像差作为校正对象.由光学设计软件求得与系统失调量相关的灵敏度矩阵,并确定对残余像差影响最敏感的失调量.当失调量被确定后,将调整后的结果再次代入光学设计软件进行验证.多次迭代后,得到系统的RMS值<0.04λ的良好结果,证明了这种指导装调的方法是行之有效的.
針對離軸三反光學繫統檢測和裝調的複雜性,提齣瞭一套結閤瞭榦涉測量技術的計算機輔助裝調方法.採用多視場ZYGO榦涉儀自準榦涉檢驗各種失調量產生的殘餘像差,得到錶徵繫統失調量引起殘餘像差的一繫列Zernike繫數,利用Zernike繫數與Seidel像差繫數之間的相關性將之轉化為幾何像差作為校正對象.由光學設計軟件求得與繫統失調量相關的靈敏度矩陣,併確定對殘餘像差影響最敏感的失調量.噹失調量被確定後,將調整後的結果再次代入光學設計軟件進行驗證.多次迭代後,得到繫統的RMS值<0.04λ的良好結果,證明瞭這種指導裝調的方法是行之有效的.
침대리축삼반광학계통검측화장조적복잡성,제출료일투결합료간섭측량기술적계산궤보조장조방법.채용다시장ZYGO간섭의자준간섭검험각충실조양산생적잔여상차,득도표정계통실조량인기잔여상차적일계렬Zernike계수,이용Zernike계수여Seidel상차계수지간적상관성장지전화위궤하상차작위교정대상.유광학설계연건구득여계통실조량상관적령민도구진,병학정대잔여상차영향최민감적실조량.당실조량피학정후,장조정후적결과재차대입광학설계연건진행험증.다차질대후,득도계통적RMS치<0.04λ적량호결과,증명료저충지도장조적방법시행지유효적.
