北京工业大学学报
北京工業大學學報
북경공업대학학보
JOURNAL OF BEIJING POLYTECHNIC UNIVERSITY
2004年
2期
148-150,155
,共4页
微机电系统(MEMS)%微机械电磁继电器%微加工%磁路模型
微機電繫統(MEMS)%微機械電磁繼電器%微加工%磁路模型
미궤전계통(MEMS)%미궤계전자계전기%미가공%자로모형
为了电磁继电器的微型化和提高生产效率,基于微机电系统(MEMS)加工技术提出并试制出一种微机械电磁继电器.这种微继电器由底层磁路、平面励磁线圈和活动电极(衔铁)构成比较完整的磁路,依靠励磁线圈的电流来控制其开关动作,微继电器体积约为5 mm×5 mm×0.4 mm,其制作工艺主要采用光刻、溅射、电镀和腐蚀牺牲层等常规微加工工艺;同时,利用磁路模型进行了电磁力的理论计算,利用其结果对活动电极尺寸和励磁线圈匝数进行了优化设计,给出了试制的微继电器样品的初步测试结果,励磁线圈阻抗约300 Ω,触点导通阻抗约1.7 Ω,励磁电流约50 mA时可使继电器可靠吸合.
為瞭電磁繼電器的微型化和提高生產效率,基于微機電繫統(MEMS)加工技術提齣併試製齣一種微機械電磁繼電器.這種微繼電器由底層磁路、平麵勵磁線圈和活動電極(銜鐵)構成比較完整的磁路,依靠勵磁線圈的電流來控製其開關動作,微繼電器體積約為5 mm×5 mm×0.4 mm,其製作工藝主要採用光刻、濺射、電鍍和腐蝕犧牲層等常規微加工工藝;同時,利用磁路模型進行瞭電磁力的理論計算,利用其結果對活動電極呎吋和勵磁線圈匝數進行瞭優化設計,給齣瞭試製的微繼電器樣品的初步測試結果,勵磁線圈阻抗約300 Ω,觸點導通阻抗約1.7 Ω,勵磁電流約50 mA時可使繼電器可靠吸閤.
위료전자계전기적미형화화제고생산효솔,기우미궤전계통(MEMS)가공기술제출병시제출일충미궤계전자계전기.저충미계전기유저층자로、평면려자선권화활동전겁(함철)구성비교완정적자로,의고려자선권적전류래공제기개관동작,미계전기체적약위5 mm×5 mm×0.4 mm,기제작공예주요채용광각、천사、전도화부식희생층등상규미가공공예;동시,이용자로모형진행료전자력적이론계산,이용기결과대활동전겁척촌화려자선권잡수진행료우화설계,급출료시제적미계전기양품적초보측시결과,려자선권조항약300 Ω,촉점도통조항약1.7 Ω,려자전류약50 mA시가사계전기가고흡합.
