CAJ | 학술논문

本文采用30kW级直流电弧等离子体喷射法沉积自支撑金刚石膜,研究了大进气量条件下不同的甲烷浓度对金刚石膜的表面形貌及晶面取向的影响,当甲烷浓度达到一定程度时,出现纳米二次晶的形核,晶粒细化,微米金刚石转变成为纳米金刚石.同时不同的氩氢配比对金刚石膜的表面形貌也产生一定的影响.在高甲烷浓度的情况下,可以得到一种具有(111)取向的微米级金刚石膜.结果表明,随着甲烷浓度和氩氢比(Ar/H2)的增加,金刚石膜表面晶粒尺寸是呈逐渐减小趋势的,此外,通过控制甲烷浓度可以得到(111)晶面的高取向金刚石膜,当甲烷浓度为20%时,金刚石膜表面晶粒的(111)晶面可以达到高取向.
본문채용30kW급직류전호등리자체분사법침적자지탱금강석막,연구료대진기량조건하불동적갑완농도대금강석막적표면형모급정면취향적영향,당갑완농도체도일정정도시,출현납미이차정적형핵,정립세화,미미금강석전변성위납미금강석.동시불동적아경배비대금강석막적표면형모야산생일정적영향.재고갑완농도적정황하,가이득도일충구유(111)취향적미미급금강석막.결과표명,수착갑완농도화아경비(Ar/H2)적증가,금강석막표면정립척촌시정축점감소추세적,차외,통과공제갑완농도가이득도(111)정면적고취향금강석막,당갑완농도위20%시,금강석막표면정립적(111)정면가이체도고취향.