激光杂志
激光雜誌
격광잡지
LASER JOURNAL
2008年
3期
62-64
,共3页
张涛%潘石%刘明%王贺陶%赵万利
張濤%潘石%劉明%王賀陶%趙萬利
장도%반석%류명%왕하도%조만리
ZnO薄膜%原子力显微镜%拉曼光谱
ZnO薄膜%原子力顯微鏡%拉曼光譜
ZnO박막%원자력현미경%랍만광보
利用磁控溅射技术,在硅基底上(100)成功制备了ZnO薄膜.分别利用原子力显微镜和拉曼光谱仪对其表面形貌、颗粒度、粗糙度和拉曼光谱性能进行表征、分析,两种方法所得结论基本吻合.研究结果表明,ZnO薄膜结晶度良好,颗粒分布均匀,具有良好的c轴取向.原子力显微镜表征结果表明,氧分压小于50%时,ZnO颗粒度和RMS粗糙度随通入氧气分压增加而减小:氧分压大于50%时,ZnO颗粒度和RMS粗糙度趋近于一常数.拉曼光谱表征结果表明,ZnO的拉曼特征峰E2(high)表现出尺寸效应,即随氧气增加(小于81.25%)ZnO颗粒度减小,使特征峰的峰位向高频移动,特征峰的半高宽增大;ZnO薄膜内部张力随氧气分压增加(小于81.25%)而减小.
利用磁控濺射技術,在硅基底上(100)成功製備瞭ZnO薄膜.分彆利用原子力顯微鏡和拉曼光譜儀對其錶麵形貌、顆粒度、粗糙度和拉曼光譜性能進行錶徵、分析,兩種方法所得結論基本吻閤.研究結果錶明,ZnO薄膜結晶度良好,顆粒分佈均勻,具有良好的c軸取嚮.原子力顯微鏡錶徵結果錶明,氧分壓小于50%時,ZnO顆粒度和RMS粗糙度隨通入氧氣分壓增加而減小:氧分壓大于50%時,ZnO顆粒度和RMS粗糙度趨近于一常數.拉曼光譜錶徵結果錶明,ZnO的拉曼特徵峰E2(high)錶現齣呎吋效應,即隨氧氣增加(小于81.25%)ZnO顆粒度減小,使特徵峰的峰位嚮高頻移動,特徵峰的半高寬增大;ZnO薄膜內部張力隨氧氣分壓增加(小于81.25%)而減小.
이용자공천사기술,재규기저상(100)성공제비료ZnO박막.분별이용원자력현미경화랍만광보의대기표면형모、과립도、조조도화랍만광보성능진행표정、분석,량충방법소득결론기본문합.연구결과표명,ZnO박막결정도량호,과립분포균균,구유량호적c축취향.원자력현미경표정결과표명,양분압소우50%시,ZnO과립도화RMS조조도수통입양기분압증가이감소:양분압대우50%시,ZnO과립도화RMS조조도추근우일상수.랍만광보표정결과표명,ZnO적랍만특정봉E2(high)표현출척촌효응,즉수양기증가(소우81.25%)ZnO과립도감소,사특정봉적봉위향고빈이동,특정봉적반고관증대;ZnO박막내부장력수양기분압증가(소우81.25%)이감소.
