真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2009年
1期
56-60
,共5页
稀土Y%磁控溅射%结合力%AFM
稀土Y%磁控濺射%結閤力%AFM
희토Y%자공천사%결합력%AFM
本文研究了Al靶中加入不同含量的稀土钇(Y)对CrAlTiN薄膜结合强度的影响.并应用原子力显微镜(AFM)、能谱仪(EDS)、纳米压入仪、划痕试验仪、激光共焦显微镜(CLSM)对薄膜样品进行了观察与分析.结果表明,CrAlTiN薄膜中稀土元素Y的加入使得Al元素单位时间内沉积量提高,CrAlTiN薄膜晶粒细化,提高其塑性和韧性,减少裂纹倾向,从而提高了CrAlTiN薄膜与基体的结合强度.
本文研究瞭Al靶中加入不同含量的稀土釔(Y)對CrAlTiN薄膜結閤彊度的影響.併應用原子力顯微鏡(AFM)、能譜儀(EDS)、納米壓入儀、劃痕試驗儀、激光共焦顯微鏡(CLSM)對薄膜樣品進行瞭觀察與分析.結果錶明,CrAlTiN薄膜中稀土元素Y的加入使得Al元素單位時間內沉積量提高,CrAlTiN薄膜晶粒細化,提高其塑性和韌性,減少裂紋傾嚮,從而提高瞭CrAlTiN薄膜與基體的結閤彊度.
본문연구료Al파중가입불동함량적희토을(Y)대CrAlTiN박막결합강도적영향.병응용원자력현미경(AFM)、능보의(EDS)、납미압입의、화흔시험의、격광공초현미경(CLSM)대박막양품진행료관찰여분석.결과표명,CrAlTiN박막중희토원소Y적가입사득Al원소단위시간내침적량제고,CrAlTiN박막정립세화,제고기소성화인성,감소렬문경향,종이제고료CrAlTiN박막여기체적결합강도.
