人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2011年
1期
119-123
,共5页
邹正光%聂小明%龙飞%陈壁滔
鄒正光%聶小明%龍飛%陳壁滔
추정광%섭소명%룡비%진벽도
CuInSe2%超声电沉积%热处理温度%保温时间%升温速率
CuInSe2%超聲電沉積%熱處理溫度%保溫時間%升溫速率
CuInSe2%초성전침적%열처리온도%보온시간%승온속솔
采用三电极系统,在超声辅助下,以Mo薄片为柔性基底制备了CuInSe2(CIS)前驱体薄膜,经热处理得到了具有黄铜矿型晶体结构的CIS薄膜.研究了热处理温度,保温时间和升温速率对CuInSe2薄膜成分、物相及形貌的影响.结果表明:热处理使薄膜物相变得纯净,随着热处理温度的提高、保温时间的延长和升温速率的减慢,结晶度提高.温度过高、时间过长制备的CIS薄膜表面有大颗粒出现以至表面粗糙度增加、颗粒不均匀.
採用三電極繫統,在超聲輔助下,以Mo薄片為柔性基底製備瞭CuInSe2(CIS)前驅體薄膜,經熱處理得到瞭具有黃銅礦型晶體結構的CIS薄膜.研究瞭熱處理溫度,保溫時間和升溫速率對CuInSe2薄膜成分、物相及形貌的影響.結果錶明:熱處理使薄膜物相變得純淨,隨著熱處理溫度的提高、保溫時間的延長和升溫速率的減慢,結晶度提高.溫度過高、時間過長製備的CIS薄膜錶麵有大顆粒齣現以至錶麵粗糙度增加、顆粒不均勻.
채용삼전겁계통,재초성보조하,이Mo박편위유성기저제비료CuInSe2(CIS)전구체박막,경열처리득도료구유황동광형정체결구적CIS박막.연구료열처리온도,보온시간화승온속솔대CuInSe2박막성분、물상급형모적영향.결과표명:열처리사박막물상변득순정,수착열처리온도적제고、보온시간적연장화승온속솔적감만,결정도제고.온도과고、시간과장제비적CIS박막표면유대과립출현이지표면조조도증가、과립불균균.
