强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2011年
9期
2386-2390
,共5页
廖国%何智兵%陈太红%许华%李俊%谌加军%唐永建
廖國%何智兵%陳太紅%許華%李俊%諶加軍%唐永建
료국%하지병%진태홍%허화%리준%심가군%당영건
直流磁控溅射%Mo薄膜%溅射功率%表面形貌%X射线衍射
直流磁控濺射%Mo薄膜%濺射功率%錶麵形貌%X射線衍射
직류자공천사%Mo박막%천사공솔%표면형모%X사선연사
实验采用直流磁控溅射沉积技术在不同溅射功率下制备Mo膜,研究了不同溅射功率下Mo膜的沉积速率、表面形貌及晶型结构,并对其晶粒尺寸和应力进行了研究.利用原子力显微镜观察样品的表面形貌发现随着溅射功率的增加,薄膜表面粗糙度逐渐增大.X射线衍射分析表明薄膜呈立方多晶结构,晶粒尺寸为14.1～17.9 nm；应力先随溅射功率的增大而增大,在40 W时达到最大值(2.383 GPa),后随溅射功率的增大有所减小.
實驗採用直流磁控濺射沉積技術在不同濺射功率下製備Mo膜,研究瞭不同濺射功率下Mo膜的沉積速率、錶麵形貌及晶型結構,併對其晶粒呎吋和應力進行瞭研究.利用原子力顯微鏡觀察樣品的錶麵形貌髮現隨著濺射功率的增加,薄膜錶麵粗糙度逐漸增大.X射線衍射分析錶明薄膜呈立方多晶結構,晶粒呎吋為14.1～17.9 nm；應力先隨濺射功率的增大而增大,在40 W時達到最大值(2.383 GPa),後隨濺射功率的增大有所減小.
실험채용직류자공천사침적기술재불동천사공솔하제비Mo막,연구료불동천사공솔하Mo막적침적속솔、표면형모급정형결구,병대기정립척촌화응력진행료연구.이용원자력현미경관찰양품적표면형모발현수착천사공솔적증가,박막표면조조도축점증대.X사선연사분석표명박막정립방다정결구,정립척촌위14.1～17.9 nm；응력선수천사공솔적증대이증대,재40 W시체도최대치(2.383 GPa),후수천사공솔적증대유소감소.
