天津师范大学学报（自然科学版）
天津師範大學學報（自然科學版）
천진사범대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF TIANJIN NORMAL UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2012年
1期
31-34,38
,共5页
王丽格%黄美东%李洪玉%张琳琳%佟莉娜%杜姗
王麗格%黃美東%李洪玉%張琳琳%佟莉娜%杜姍
왕려격%황미동%리홍옥%장림림%동리나%두산
溅射功率%磁控溅射%氧化钛薄膜%光学性能
濺射功率%磁控濺射%氧化鈦薄膜%光學性能
천사공솔%자공천사%양화태박막%광학성능
常温下,利用射频(RF)反应磁控溅射方法在K9双面抛光玻璃基底上沉积氧化钛薄膜.采用光栅光谱仪对薄膜样品的透射谱进行测试,通过椭圆偏振光谱仪测试并拟舍得到薄膜的厚度、折射率和消光系数等光学参数,借助掠入射角X-射线衍射对薄膜的结晶状态进行了测试.实验结果表明:不同溅射功率下沉积的样品呈非晶态,在40～100W范围内,溅射功率越大,薄膜的沉积速率越大,但溅射功率对折射率和消光系数影响不大.
常溫下,利用射頻(RF)反應磁控濺射方法在K9雙麵拋光玻璃基底上沉積氧化鈦薄膜.採用光柵光譜儀對薄膜樣品的透射譜進行測試,通過橢圓偏振光譜儀測試併擬捨得到薄膜的厚度、摺射率和消光繫數等光學參數,藉助掠入射角X-射線衍射對薄膜的結晶狀態進行瞭測試.實驗結果錶明:不同濺射功率下沉積的樣品呈非晶態,在40～100W範圍內,濺射功率越大,薄膜的沉積速率越大,但濺射功率對摺射率和消光繫數影響不大.
상온하,이용사빈(RF)반응자공천사방법재K9쌍면포광파리기저상침적양화태박막.채용광책광보의대박막양품적투사보진행측시,통과타원편진광보의측시병의사득도박막적후도、절사솔화소광계수등광학삼수,차조략입사각X-사선연사대박막적결정상태진행료측시.실험결과표명:불동천사공솔하침적적양품정비정태,재40～100W범위내,천사공솔월대,박막적침적속솔월대,단천사공솔대절사솔화소광계수영향불대.
