VCSEL氧化物限制工艺研究
VCSEL양화물한제공예연구
Study on Oxidation Confinement Process of Vertical Cavity Surface-Emitting Lasers
  • 万方数据
    长春理工大学学报 장춘리공대학학보
    JOURNAL OF CHANGCHUN UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY
    2004年 1期 56-58 ,共3页

    赵英杰%刘文莉%李林%郝永芹%姜晓光%苏伟%晏长岭

    조영걸%류문리%리림%학영근%강효광%소위%안장령

    垂直腔%面发射%激光器%氧化物限制 垂直腔%麵髮射%激光器%氧化物限製
    수직강%면발사%격광기%양화물한제
    介绍了研制垂直腔面发射半导体激光器(VCSEL)核心技术之一,氧化物限制工艺,讨论了温度与氧化速率之间的关系.
    개소료연제수직강면발사반도체격광기(VCSEL)핵심기술지일,양화물한제공예,토론료온도여양화속솔지간적관계.
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