光学学报
光學學報
광학학보
ACTA OPTICA SINICA
2004年
2期
251-254
,共4页
顾培夫%陆巍%陈海星%杨毓铭%李海峰%章岳光%刘旭%唐晋发
顧培伕%陸巍%陳海星%楊毓銘%李海峰%章嶽光%劉旭%唐晉髮
고배부%륙외%진해성%양육명%리해봉%장악광%류욱%당진발
薄膜光学%波分复用%膜厚监控%光谱宽度%窄带滤光片
薄膜光學%波分複用%膜厚鑑控%光譜寬度%窄帶濾光片
박막광학%파분복용%막후감공%광보관도%착대려광편
讨论了膜厚监控系统的光谱宽度对波分复用窄带滤光片特性的影响,分析了监控过程中所出现的信号异常现象,其主要原因是控制光光谱宽度以及控制波长与滤光片中心波长不一致,所以控制光光谱分辨率必须小于单个法布里珀罗滤光片最后2层膜折转点波长宽度的一半,即对100 GHz的滤光片,监控系统的光谱宽度必须小于0.2 nm.一旦产生中心波长偏离,就必定产生厚度控制误差.讨论了高折射率膜和低折射率膜的信号变化规律,发现当中心波长比监控波长长时,虽然信号变化规律正确,但判读到极值时的膜厚变薄.中心波长偏离越长,厚度将越薄.而当中心波长比监控波长短时,信号将出现反转.中心波长越短,反转量越大.最后指出了监控误差对滤光片Tmax和半峰全宽的影响.
討論瞭膜厚鑑控繫統的光譜寬度對波分複用窄帶濾光片特性的影響,分析瞭鑑控過程中所齣現的信號異常現象,其主要原因是控製光光譜寬度以及控製波長與濾光片中心波長不一緻,所以控製光光譜分辨率必鬚小于單箇法佈裏珀囉濾光片最後2層膜摺轉點波長寬度的一半,即對100 GHz的濾光片,鑑控繫統的光譜寬度必鬚小于0.2 nm.一旦產生中心波長偏離,就必定產生厚度控製誤差.討論瞭高摺射率膜和低摺射率膜的信號變化規律,髮現噹中心波長比鑑控波長長時,雖然信號變化規律正確,但判讀到極值時的膜厚變薄.中心波長偏離越長,厚度將越薄.而噹中心波長比鑑控波長短時,信號將齣現反轉.中心波長越短,反轉量越大.最後指齣瞭鑑控誤差對濾光片Tmax和半峰全寬的影響.
토론료막후감공계통적광보관도대파분복용착대려광편특성적영향,분석료감공과정중소출현적신호이상현상,기주요원인시공제광광보관도이급공제파장여려광편중심파장불일치,소이공제광광보분변솔필수소우단개법포리박라려광편최후2층막절전점파장관도적일반,즉대100 GHz적려광편,감공계통적광보관도필수소우0.2 nm.일단산생중심파장편리,취필정산생후도공제오차.토론료고절사솔막화저절사솔막적신호변화규률,발현당중심파장비감공파장장시,수연신호변화규률정학,단판독도겁치시적막후변박.중심파장편리월장,후도장월박.이당중심파장비감공파장단시,신호장출현반전.중심파장월단,반전량월대.최후지출료감공오차대려광편Tmax화반봉전관적영향.
