上海大学学报（自然科学版）
上海大學學報（自然科學版）
상해대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF SHANGHAI UNIVERSITY (NATURAL SCIENCE EDITION)
2006年
6期
604-609
,共6页
王烨%李伟%赵文刚%杨文继%王德明%马忠权
王燁%李偉%趙文剛%楊文繼%王德明%馬忠權
왕엽%리위%조문강%양문계%왕덕명%마충권
溶胶凝胶法%Na-Mg掺杂%ZnO薄膜%电阻率测量
溶膠凝膠法%Na-Mg摻雜%ZnO薄膜%電阻率測量
용효응효법%Na-Mg참잡%ZnO박막%전조솔측량
报道了用溶胶凝胶法制备由Na、Mg两种元素共同掺杂的ZnO薄膜,研究了在Na-Mg共同掺杂情况下,ZnO薄膜的表面形貌、微结构和电学性质.通过改变Na、Mg掺杂量与Zn的比值,ZnO薄膜可呈现良好的c-轴取向.同时,经过Hall效应测量发现:ZnO薄膜的电阻率、载流子浓度和迁移率随着Na、Mg的掺杂量而变化,并出现离散性,薄膜电阻率最低可达0.57×105 Ω·cm,具有P-型传导性.
報道瞭用溶膠凝膠法製備由Na、Mg兩種元素共同摻雜的ZnO薄膜,研究瞭在Na-Mg共同摻雜情況下,ZnO薄膜的錶麵形貌、微結構和電學性質.通過改變Na、Mg摻雜量與Zn的比值,ZnO薄膜可呈現良好的c-軸取嚮.同時,經過Hall效應測量髮現:ZnO薄膜的電阻率、載流子濃度和遷移率隨著Na、Mg的摻雜量而變化,併齣現離散性,薄膜電阻率最低可達0.57×105 Ω·cm,具有P-型傳導性.
보도료용용효응효법제비유Na、Mg량충원소공동참잡적ZnO박막,연구료재Na-Mg공동참잡정황하,ZnO박막적표면형모、미결구화전학성질.통과개변Na、Mg참잡량여Zn적비치,ZnO박막가정현량호적c-축취향.동시,경과Hall효응측량발현:ZnO박막적전조솔、재류자농도화천이솔수착Na、Mg적참잡량이변화,병출현리산성,박막전조솔최저가체0.57×105 Ω·cm,구유P-형전도성.
