功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2007年
6期
517-521
,共5页
展晓元%齐俊杰%顾有松%李建民%张跃
展曉元%齊俊傑%顧有鬆%李建民%張躍
전효원%제준걸%고유송%리건민%장약
记录介质%结构%磁性能%热处理
記錄介質%結構%磁性能%熱處理
기록개질%결구%자성능%열처리
采用磁控溅射法在自然氧化的单晶Si(100)基底上制备了(FePt/Ag)10多层薄膜,并在10kA/m磁场中进行了不同温度的真空热处理,研究了磁场作用下,不同热处理温度对FePt薄膜有序化转变及磁性能的影响.X射线衍射研究表明,在磁场作用下通过多层膜设计可以比较容易获得垂直生长的易磁化轴;选择适当的热处理温度、降低多层膜中每层膜厚可以制备出晶粒尺寸细小均匀的FePt/Ag垂直磁化薄膜,适用于高密度垂直磁记录介质材料.
採用磁控濺射法在自然氧化的單晶Si(100)基底上製備瞭(FePt/Ag)10多層薄膜,併在10kA/m磁場中進行瞭不同溫度的真空熱處理,研究瞭磁場作用下,不同熱處理溫度對FePt薄膜有序化轉變及磁性能的影響.X射線衍射研究錶明,在磁場作用下通過多層膜設計可以比較容易穫得垂直生長的易磁化軸;選擇適噹的熱處理溫度、降低多層膜中每層膜厚可以製備齣晶粒呎吋細小均勻的FePt/Ag垂直磁化薄膜,適用于高密度垂直磁記錄介質材料.
채용자공천사법재자연양화적단정Si(100)기저상제비료(FePt/Ag)10다층박막,병재10kA/m자장중진행료불동온도적진공열처리,연구료자장작용하,불동열처리온도대FePt박막유서화전변급자성능적영향.X사선연사연구표명,재자장작용하통과다층막설계가이비교용역획득수직생장적역자화축;선택괄당적열처리온도、강저다층막중매층막후가이제비출정립척촌세소균균적FePt/Ag수직자화박막,괄용우고밀도수직자기록개질재료.
