无机材料学报
無機材料學報
무궤재료학보
JOURNAL OF INORGANIC MATERIALS
2009年
2期
387-391
,共5页
廖家轩%王洪全%潘笑风%傅向军%张佳%田忠
廖傢軒%王洪全%潘笑風%傅嚮軍%張佳%田忠
료가헌%왕홍전%반소풍%부향군%장가%전충
钇掺杂%钛酸锶钡薄膜%改进溶胶-凝胶法%表面结构%介电调谐性能
釔摻雜%鈦痠鍶鋇薄膜%改進溶膠-凝膠法%錶麵結構%介電調諧性能
을참잡%태산송패박막%개진용효-응효법%표면결구%개전조해성능
通过在溶胶前驱液中添加聚乙烯吡咯烷酮和在底电极Pt上形成界面仔晶层,对溶胶-凝胶(Sol-Gel)法进行了改进,并以此在Pt/Ti/SiO2/Si上制备了钇(Y)掺杂和非掺杂的Ba0.6Sr0.4TiO3(BST)薄膜,研究了薄膜的表面结构和介电调谐性能.X射线光电子能谱表明,BST薄膜表面元素都以两种或三种化学态出现,一种对应钙钛矿结构,其余的对应非钙钛矿结构.和非掺杂相比,除了Ti2p外,Y掺杂对Ba3d、Sr3d和O1s具有明显的影响,Ba、Sr和O原子在非钙钛矿结构中的含量分别由41%、33%和51%减少到26%、29%和40%.扫描电镜和原子力显微镜表明,Y掺杂BST薄膜光滑致密、无裂纹和无缩孔.40V偏压和100kHz频率下的电压-电容曲线表明,Y掺杂提高了薄膜的介电调谐性能,调谐率大于43%、损耗0.0216及优化因子20.对Y掺杂改性机理也进行了讨论.
通過在溶膠前驅液中添加聚乙烯吡咯烷酮和在底電極Pt上形成界麵仔晶層,對溶膠-凝膠(Sol-Gel)法進行瞭改進,併以此在Pt/Ti/SiO2/Si上製備瞭釔(Y)摻雜和非摻雜的Ba0.6Sr0.4TiO3(BST)薄膜,研究瞭薄膜的錶麵結構和介電調諧性能.X射線光電子能譜錶明,BST薄膜錶麵元素都以兩種或三種化學態齣現,一種對應鈣鈦礦結構,其餘的對應非鈣鈦礦結構.和非摻雜相比,除瞭Ti2p外,Y摻雜對Ba3d、Sr3d和O1s具有明顯的影響,Ba、Sr和O原子在非鈣鈦礦結構中的含量分彆由41%、33%和51%減少到26%、29%和40%.掃描電鏡和原子力顯微鏡錶明,Y摻雜BST薄膜光滑緻密、無裂紋和無縮孔.40V偏壓和100kHz頻率下的電壓-電容麯線錶明,Y摻雜提高瞭薄膜的介電調諧性能,調諧率大于43%、損耗0.0216及優化因子20.對Y摻雜改性機理也進行瞭討論.
통과재용효전구액중첨가취을희필각완동화재저전겁Pt상형성계면자정층,대용효-응효(Sol-Gel)법진행료개진,병이차재Pt/Ti/SiO2/Si상제비료을(Y)참잡화비참잡적Ba0.6Sr0.4TiO3(BST)박막,연구료박막적표면결구화개전조해성능.X사선광전자능보표명,BST박막표면원소도이량충혹삼충화학태출현,일충대응개태광결구,기여적대응비개태광결구.화비참잡상비,제료Ti2p외,Y참잡대Ba3d、Sr3d화O1s구유명현적영향,Ba、Sr화O원자재비개태광결구중적함량분별유41%、33%화51%감소도26%、29%화40%.소묘전경화원자력현미경표명,Y참잡BST박막광활치밀、무렬문화무축공.40V편압화100kHz빈솔하적전압-전용곡선표명,Y참잡제고료박막적개전조해성능,조해솔대우43%、손모0.0216급우화인자20.대Y참잡개성궤리야진행료토론.
