贵州大学学报（自然科学版）
貴州大學學報（自然科學版）
귀주대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF GUIZHOU UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE)
2010年
1期
62-66
,共5页
磁控溅射%溅射参数%薄膜制备%退火处理%薄膜属性
磁控濺射%濺射參數%薄膜製備%退火處理%薄膜屬性
자공천사%천사삼수%박막제비%퇴화처리%박막속성
磁控溅射法是制备薄膜材料的重要手段,薄膜属性受其制备参数的制约,诸参数相互关联,共同影响薄膜的沉积、成核及生长.本文在简要介绍了磁控溅射制备薄膜的基本原理及基本流程的基础上,讨论了溅射参数影响薄膜属性的基本规律和作用机理,并简述了使用磁控溅射法制备薄膜的注意事项.
磁控濺射法是製備薄膜材料的重要手段,薄膜屬性受其製備參數的製約,諸參數相互關聯,共同影響薄膜的沉積、成覈及生長.本文在簡要介紹瞭磁控濺射製備薄膜的基本原理及基本流程的基礎上,討論瞭濺射參數影響薄膜屬性的基本規律和作用機理,併簡述瞭使用磁控濺射法製備薄膜的註意事項.
자공천사법시제비박막재료적중요수단,박막속성수기제비삼수적제약,제삼수상호관련,공동영향박막적침적、성핵급생장.본문재간요개소료자공천사제비박막적기본원리급기본류정적기출상,토론료천사삼수영향박막속성적기본규률화작용궤리,병간술료사용자공천사법제비박막적주의사항.
