微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2000年
2期
50-54
,共5页
单吉祥%应再生%沈启舜%曹庄琪
單吉祥%應再生%瀋啟舜%曹莊琪
단길상%응재생%침계순%조장기
聚合物波导%光漂白%有效折射率
聚閤物波導%光漂白%有效摺射率
취합물파도%광표백%유효절사솔
详细讨论了DR1/PMMA聚合物波导在紫外光照射下,各个模式的有效折射率,薄膜厚度,以及紫外可见吸收谱的变化情况.并在此基础上,提出了以金属掩模,利用光漂白技术制备聚酰亚胺脊型光波导的新方法.
詳細討論瞭DR1/PMMA聚閤物波導在紫外光照射下,各箇模式的有效摺射率,薄膜厚度,以及紫外可見吸收譜的變化情況.併在此基礎上,提齣瞭以金屬掩模,利用光漂白技術製備聚酰亞胺脊型光波導的新方法.
상세토론료DR1/PMMA취합물파도재자외광조사하,각개모식적유효절사솔,박막후도,이급자외가견흡수보적변화정황.병재차기출상,제출료이금속엄모,이용광표백기술제비취선아알척형광파도적신방법.
