光子学报
光子學報
광자학보
ACTA PHOTONICA SINICA
2004年
2期
244-247
,共4页
糜长稳%王克逸%李明%章荣平
糜長穩%王剋逸%李明%章榮平
미장은%왕극일%리명%장영평
光探针%自聚焦透镜%光斑测量
光探針%自聚焦透鏡%光斑測量
광탐침%자취초투경%광반측량
以扫描探针显微理论为基础,讨论了基于光学纤维探针技术的自聚焦透镜光斑测量方法,介绍了实验系统的构成和测量原理、光学探针的制作和软件控制技术,并且以日本产NSG自聚焦透镜为样品进行了光斑测量和分析.所得结果对于评价自聚焦透镜的成像性能具有重要意义.
以掃描探針顯微理論為基礎,討論瞭基于光學纖維探針技術的自聚焦透鏡光斑測量方法,介紹瞭實驗繫統的構成和測量原理、光學探針的製作和軟件控製技術,併且以日本產NSG自聚焦透鏡為樣品進行瞭光斑測量和分析.所得結果對于評價自聚焦透鏡的成像性能具有重要意義.
이소묘탐침현미이론위기출,토론료기우광학섬유탐침기술적자취초투경광반측량방법,개소료실험계통적구성화측량원리、광학탐침적제작화연건공제기술,병차이일본산NSG자취초투경위양품진행료광반측량화분석.소득결과대우평개자취초투경적성상성능구유중요의의.