光学仪器
光學儀器
광학의기
OPTICAL INSTRUMENTS
2004年
2期
105-108
,共4页
林宇翔%章岳光%顾培夫%唐晋发
林宇翔%章嶽光%顧培伕%唐晉髮
림우상%장악광%고배부%당진발
薄膜滤光片%实时%光学监控%计算机
薄膜濾光片%實時%光學鑑控%計算機
박막려광편%실시%광학감공%계산궤
介绍了一种薄膜制造实时光学监控系统,对监控系统的组成及各个模块的功能和工作原理进行分析.系统由计算机对信号进行采集、分析和判断,根据膜层的不同特点采取相应的监控方式,可以对各种规整和非规整膜系进行监控,自动开闭蒸发源挡板.
介紹瞭一種薄膜製造實時光學鑑控繫統,對鑑控繫統的組成及各箇模塊的功能和工作原理進行分析.繫統由計算機對信號進行採集、分析和判斷,根據膜層的不同特點採取相應的鑑控方式,可以對各種規整和非規整膜繫進行鑑控,自動開閉蒸髮源擋闆.
개소료일충박막제조실시광학감공계통,대감공계통적조성급각개모괴적공능화공작원리진행분석.계통유계산궤대신호진행채집、분석화판단,근거막층적불동특점채취상응적감공방식,가이대각충규정화비규정막계진행감공,자동개폐증발원당판.
