真空
真空
진공
VACUUM
2007年
5期
29-31
,共3页
李新%唐桢安%徐军%鲍海飞
李新%唐楨安%徐軍%鮑海飛
리신%당정안%서군%포해비
类金刚石膜%原子力显微镜%纳米摩擦%等离子源离子注入
類金剛石膜%原子力顯微鏡%納米摩抆%等離子源離子註入
류금강석막%원자력현미경%납미마찰%등리자원리자주입
微机电系统(MEMS)的研究引起了人们的极大关注,摩擦行为是影响MEMS性能的关键因素之一.本文采用等离子源离子注入(PSII)技术在硅衬底上制备薄膜,利用Raman光谱表征制备薄膜的类金刚石特性.详细介绍了采用原子力显微镜(AFM)进行纳米摩擦实验的原理,并利用其研究制得DLC膜的纳米摩擦特性.研究结果表明,制得DLC膜的摩擦系数较小,具有耐磨损性能,而且反应气体流量对薄膜的纳米摩擦特性有较大影响.PSII技术制备的DLC膜具有较好的纳米摩擦特性,并有望使可动MEMS的摩擦问题得到真正意义上的突破.
微機電繫統(MEMS)的研究引起瞭人們的極大關註,摩抆行為是影響MEMS性能的關鍵因素之一.本文採用等離子源離子註入(PSII)技術在硅襯底上製備薄膜,利用Raman光譜錶徵製備薄膜的類金剛石特性.詳細介紹瞭採用原子力顯微鏡(AFM)進行納米摩抆實驗的原理,併利用其研究製得DLC膜的納米摩抆特性.研究結果錶明,製得DLC膜的摩抆繫數較小,具有耐磨損性能,而且反應氣體流量對薄膜的納米摩抆特性有較大影響.PSII技術製備的DLC膜具有較好的納米摩抆特性,併有望使可動MEMS的摩抆問題得到真正意義上的突破.
미궤전계통(MEMS)적연구인기료인문적겁대관주,마찰행위시영향MEMS성능적관건인소지일.본문채용등리자원리자주입(PSII)기술재규츤저상제비박막,이용Raman광보표정제비박막적류금강석특성.상세개소료채용원자력현미경(AFM)진행납미마찰실험적원리,병이용기연구제득DLC막적납미마찰특성.연구결과표명,제득DLC막적마찰계수교소,구유내마손성능,이차반응기체류량대박막적납미마찰특성유교대영향.PSII기술제비적DLC막구유교호적납미마찰특성,병유망사가동MEMS적마찰문제득도진정의의상적돌파.
