稀有金属
稀有金屬
희유금속
CHINESE JOURNAL OF RARE METALS
2008年
2期
161-164
,共4页
任丙彦%李洪源%张燕%张兵%郭贝
任丙彥%李洪源%張燕%張兵%郭貝
임병언%리홍원%장연%장병%곽패
CZSi%热场%有限元%双加热器%热对流
CZSi%熱場%有限元%雙加熱器%熱對流
CZSi%열장%유한원%쌍가열기%열대류
对国产TDR-80型单晶炉的复合式热场系统进行了优化设计, 建立了不同条件下的理论模型, 采用有限元数值模拟的方法分析了主加热器的延伸率、埚径比和熔体高度变化对直拉硅单晶生长中的温度梯度和热流密度分布的影响, 为提高晶体生长速率和质量提供了必要的理论依据.
對國產TDR-80型單晶爐的複閤式熱場繫統進行瞭優化設計, 建立瞭不同條件下的理論模型, 採用有限元數值模擬的方法分析瞭主加熱器的延伸率、堝徑比和鎔體高度變化對直拉硅單晶生長中的溫度梯度和熱流密度分佈的影響, 為提高晶體生長速率和質量提供瞭必要的理論依據.
대국산TDR-80형단정로적복합식열장계통진행료우화설계, 건립료불동조건하적이론모형, 채용유한원수치모의적방법분석료주가열기적연신솔、과경비화용체고도변화대직랍규단정생장중적온도제도화열류밀도분포적영향, 위제고정체생장속솔화질량제공료필요적이론의거.
