计算物理
計算物理
계산물리
CHINESE JOURNAL OF COMPUTATIONAL PHYSICS
2012年
2期
221-226
,共6页
裴宪军%巩春志%汪志健%田修波%杨士勤
裴憲軍%鞏春誌%汪誌健%田脩波%楊士勤
배헌군%공춘지%왕지건%전수파%양사근
梯形管%等离子体离子注入%时空演化%particle-in-cell%MATLAB
梯形管%等離子體離子註入%時空縯化%particle-in-cell%MATLAB
제형관%등리자체리자주입%시공연화%particle-in-cell%MATLAB
基于MATLAB利用Particle-in-cell模型,对梯形管内壁等离子体离子注入过程,进行了二维数值模拟.计算结果表明在中心电极附近出现了“阳极鞘层”,该鞘层内部不存在离子,而且在鞘层边缘离子密度最高.在上下管壁上的离子注入剂量呈现“m”形分布.通过对注入过程中等离子体密度分布和不同时间段管壁不同位置离子注入剂量的跟踪,发现“阳极鞘层”扩展行为是导致“m”形分布的原因.由于梯形管形状的不对称性,“阳极鞘层”的边缘向梯形长底方向扩展较快.在注入初始时刻离子注入的能量很低,随着时间延长离子能量逐渐升高,这是由离子初始位置决定的.可见梯形管自身形状决定了鞘层形状和最终的离子注入能量和剂量分布.
基于MATLAB利用Particle-in-cell模型,對梯形管內壁等離子體離子註入過程,進行瞭二維數值模擬.計算結果錶明在中心電極附近齣現瞭“暘極鞘層”,該鞘層內部不存在離子,而且在鞘層邊緣離子密度最高.在上下管壁上的離子註入劑量呈現“m”形分佈.通過對註入過程中等離子體密度分佈和不同時間段管壁不同位置離子註入劑量的跟蹤,髮現“暘極鞘層”擴展行為是導緻“m”形分佈的原因.由于梯形管形狀的不對稱性,“暘極鞘層”的邊緣嚮梯形長底方嚮擴展較快.在註入初始時刻離子註入的能量很低,隨著時間延長離子能量逐漸升高,這是由離子初始位置決定的.可見梯形管自身形狀決定瞭鞘層形狀和最終的離子註入能量和劑量分佈.
기우MATLAB이용Particle-in-cell모형,대제형관내벽등리자체리자주입과정,진행료이유수치모의.계산결과표명재중심전겁부근출현료“양겁초층”,해초층내부불존재리자,이차재초층변연리자밀도최고.재상하관벽상적리자주입제량정현“m”형분포.통과대주입과정중등리자체밀도분포화불동시간단관벽불동위치리자주입제량적근종,발현“양겁초층”확전행위시도치“m”형분포적원인.유우제형관형상적불대칭성,“양겁초층”적변연향제형장저방향확전교쾌.재주입초시시각리자주입적능량흔저,수착시간연장리자능량축점승고,저시유리자초시위치결정적.가견제형관자신형상결정료초층형상화최종적리자주입능량화제량분포.
