光电子技术
光電子技術
광전자기술
OPTOELECTRONIC TECHNOLOGY
2004年
3期
159-162,168
,共5页
韦冬青%陈炳若%钟茗%李云虎%杨雨佳
韋鼕青%陳炳若%鐘茗%李雲虎%楊雨佳
위동청%진병약%종명%리운호%양우가
双结型硅色敏器件%全色波段%结深%短路电流比
雙結型硅色敏器件%全色波段%結深%短路電流比
쌍결형규색민기건%전색파단%결심%단로전류비
通过理论分析得出硅双结型色敏器件中掺杂浓度和两个结的结深是影响光谱响应范围的主要因素.通过选择不同的器件结构和工艺条件,得到了色敏器件对蓝紫光的响应,完成了全色波段硅双结型色敏器件的研制.
通過理論分析得齣硅雙結型色敏器件中摻雜濃度和兩箇結的結深是影響光譜響應範圍的主要因素.通過選擇不同的器件結構和工藝條件,得到瞭色敏器件對藍紫光的響應,完成瞭全色波段硅雙結型色敏器件的研製.
통과이론분석득출규쌍결형색민기건중참잡농도화량개결적결심시영향광보향응범위적주요인소.통과선택불동적기건결구화공예조건,득도료색민기건대람자광적향응,완성료전색파단규쌍결형색민기건적연제.
