计量学报
計量學報
계량학보
ACTA METROLOGICA SINICA
2005年
2期
115-119
,共5页
柳忠尧%闫聚群%张蕊%林德教%殷纯永%叶孝佑%许婕
柳忠堯%閆聚群%張蕊%林德教%慇純永%葉孝祐%許婕
류충요%염취군%장예%림덕교%은순영%협효우%허첩
计量学%偏振干涉%边缘探测%线宽%共光路设计%共焦显微术
計量學%偏振榦涉%邊緣探測%線寬%共光路設計%共焦顯微術
계량학%편진간섭%변연탐측%선관%공광로설계%공초현미술
提出一种融合共焦显微技术和偏振干涉技术的偏振干涉共焦显微测量方法.利用共焦技术进行准确的焦点定位,以获得最佳的测量光斑;同时,利用照射到台阶边缘的不同偏振方向(平行和垂直于台阶边缘)的线偏振光反射后产生的相位变化不同这一特性,进行边缘定位.相位变化是利用外差干涉测相的方法得到的.这一系统完全符合共光路原则,有很强的抗干扰能力.利用该系统对标准线宽样板进行了测量,测量结果与中国计量科学研究院用原子力显微镜测量的结果,以及厂商提供的可溯源到美国NIST光学线宽标准的测量值都符合的很好;还对同一刻线进行了5次重复性测量,其极限偏差为20 nm.
提齣一種融閤共焦顯微技術和偏振榦涉技術的偏振榦涉共焦顯微測量方法.利用共焦技術進行準確的焦點定位,以穫得最佳的測量光斑;同時,利用照射到檯階邊緣的不同偏振方嚮(平行和垂直于檯階邊緣)的線偏振光反射後產生的相位變化不同這一特性,進行邊緣定位.相位變化是利用外差榦涉測相的方法得到的.這一繫統完全符閤共光路原則,有很彊的抗榦擾能力.利用該繫統對標準線寬樣闆進行瞭測量,測量結果與中國計量科學研究院用原子力顯微鏡測量的結果,以及廠商提供的可溯源到美國NIST光學線寬標準的測量值都符閤的很好;還對同一刻線進行瞭5次重複性測量,其極限偏差為20 nm.
제출일충융합공초현미기술화편진간섭기술적편진간섭공초현미측량방법.이용공초기술진행준학적초점정위,이획득최가적측량광반;동시,이용조사도태계변연적불동편진방향(평행화수직우태계변연)적선편진광반사후산생적상위변화불동저일특성,진행변연정위.상위변화시이용외차간섭측상적방법득도적.저일계통완전부합공광로원칙,유흔강적항간우능력.이용해계통대표준선관양판진행료측량,측량결과여중국계량과학연구원용원자력현미경측량적결과,이급엄상제공적가소원도미국NIST광학선관표준적측량치도부합적흔호;환대동일각선진행료5차중복성측량,기겁한편차위20 nm.
