CAJ | 학술논문

万方数据

稀有金属材料与工程 희유금속재료여공정
RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERNG
2005年 10期 1653-1656 ,共4页

王敬义%尹盛%陶甫廷%吴京波%冯信华%苏睿%许淑慧%陈正强%陈文辉%罗文广

왕경의%윤성%도보정%오경파%풍신화%소예%허숙혜%진정강%진문휘%라문엄

等离子体纯化%纯化反应%表面刻蚀等離子體純化%純化反應%錶麵刻蝕
등리자체순화%순화반응%표면각식

根据硅粉纯化的要求,提供了一种长落程和高反应速率的冷等离体反应器.工艺参数的选择着重于增大鞘层厚度、提高反应粒子浓度和控制抽气速率,因此,能有效的提高纯化反应的速率、粉料的回收率和粉粒一次沉降的时间.实验结果表明:该设备能将纯度为99%的工业硅纯化为约99.99%的太阳级硅.
근거규분순화적요구,제공료일충장락정화고반응속솔적랭등리체반응기.공예삼수적선택착중우증대초층후도、제고반응입자농도화공제추기속솔,인차,능유효적제고순화반응적속솔、분료적회수솔화분립일차침강적시간.실험결과표명:해설비능장순도위99%적공업규순화위약99.99%적태양급규.