半导体技术
半導體技術
반도체기술
SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY
2006年
11期
805-809,827
,共6页
金属氧化物半导体场效应晶体管%微电子技术%发展历程与挑战
金屬氧化物半導體場效應晶體管%微電子技術%髮展歷程與挑戰
금속양화물반도체장효응정체관%미전자기술%발전역정여도전
简述了MOSFET器件工作原理,回顾了器件发展历程,列出亟待解决的器件工艺问题以及面临的挑战.
簡述瞭MOSFET器件工作原理,迴顧瞭器件髮展歷程,列齣亟待解決的器件工藝問題以及麵臨的挑戰.
간술료MOSFET기건공작원리,회고료기건발전역정,렬출극대해결적기건공예문제이급면림적도전.