中国机械工程
中國機械工程
중국궤계공정
CHINA MECHANICAl ENGINEERING
2006年
22期
2324-2325,2329
,共3页
钟莹%张国雄%冷长林%张涛
鐘瑩%張國雄%冷長林%張濤
종형%장국웅%랭장림%장도
微机电系统%差动多普勒%时频分析%谐振器
微機電繫統%差動多普勒%時頻分析%諧振器
미궤전계통%차동다보륵%시빈분석%해진기
提出了能够检测微机电系统器件面内瞬时运动的方法,建立了测量微机电系统谐振器面内运动速度和位移的差动激光多普勒系统.在光路中引入了电荷耦合器件监控系统,可以观察被测器件微小结构的调整和振动情况.使用信号处理电路从光电接收器输出的高频调制信号中分离出多普勒信号,并用时频分析算法从多普勒信号中提取出速度信息,再通过积分获得位移.测量了微机电系统谐振器的面内振动,测量结果的离散度误差为2.512μm.
提齣瞭能夠檢測微機電繫統器件麵內瞬時運動的方法,建立瞭測量微機電繫統諧振器麵內運動速度和位移的差動激光多普勒繫統.在光路中引入瞭電荷耦閤器件鑑控繫統,可以觀察被測器件微小結構的調整和振動情況.使用信號處理電路從光電接收器輸齣的高頻調製信號中分離齣多普勒信號,併用時頻分析算法從多普勒信號中提取齣速度信息,再通過積分穫得位移.測量瞭微機電繫統諧振器的麵內振動,測量結果的離散度誤差為2.512μm.
제출료능구검측미궤전계통기건면내순시운동적방법,건립료측량미궤전계통해진기면내운동속도화위이적차동격광다보륵계통.재광로중인입료전하우합기건감공계통,가이관찰피측기건미소결구적조정화진동정황.사용신호처리전로종광전접수기수출적고빈조제신호중분리출다보륵신호,병용시빈분석산법종다보륵신호중제취출속도신식,재통과적분획득위이.측량료미궤전계통해진기적면내진동,측량결과적리산도오차위2.512μm.
