北京科技大学学报
北京科技大學學報
북경과기대학학보
JOURNAL OF UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY BEIJING
2008年
5期
544-547
,共4页
张玉军%吕反修%张建军%陈良贤
張玉軍%呂反脩%張建軍%陳良賢
장옥군%려반수%장건군%진량현
金刚石薄膜%直流电弧等离子体喷射化学气相沉积%复合衬底%制备工艺
金剛石薄膜%直流電弧等離子體噴射化學氣相沉積%複閤襯底%製備工藝
금강석박막%직류전호등리자체분사화학기상침적%복합츤저%제비공예
为制备高质量的声表面波器件,探索金刚石薄膜的沉积工艺,采用直流电弧等离子体喷射化学气相沉积技术和特殊的复合衬底技术,在单晶硅衬底上制备了大面积、高质量的金刚石薄膜,成功解决了单晶硅衬底在沉积金刚石薄膜过程中产生的变形问题. 研究了甲烷浓度和沉积温度对金刚石薄膜质量的影响,优化了沉积工艺. 结果表明,甲烷气体体积分数为1.8%时,晶粒最为细小,同时金刚石薄膜的表面粗糙度最小,表面最为光滑. 衬底温度为1000℃时生长的金刚石薄膜的晶粒尺寸较小.
為製備高質量的聲錶麵波器件,探索金剛石薄膜的沉積工藝,採用直流電弧等離子體噴射化學氣相沉積技術和特殊的複閤襯底技術,在單晶硅襯底上製備瞭大麵積、高質量的金剛石薄膜,成功解決瞭單晶硅襯底在沉積金剛石薄膜過程中產生的變形問題. 研究瞭甲烷濃度和沉積溫度對金剛石薄膜質量的影響,優化瞭沉積工藝. 結果錶明,甲烷氣體體積分數為1.8%時,晶粒最為細小,同時金剛石薄膜的錶麵粗糙度最小,錶麵最為光滑. 襯底溫度為1000℃時生長的金剛石薄膜的晶粒呎吋較小.
위제비고질량적성표면파기건,탐색금강석박막적침적공예,채용직류전호등리자체분사화학기상침적기술화특수적복합츤저기술,재단정규츤저상제비료대면적、고질량적금강석박막,성공해결료단정규츤저재침적금강석박막과정중산생적변형문제. 연구료갑완농도화침적온도대금강석박막질량적영향,우화료침적공예. 결과표명,갑완기체체적분수위1.8%시,정립최위세소,동시금강석박막적표면조조도최소,표면최위광활. 츤저온도위1000℃시생장적금강석박막적정립척촌교소.
