功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2010年
z3期
435-437
,共3页
胡琛%杨刚%陈文彬%骆开均
鬍琛%楊剛%陳文彬%駱開均
호침%양강%진문빈%락개균
有机薄膜%均匀性%蒙特卡洛%真空蒸镀
有機薄膜%均勻性%矇特卡洛%真空蒸鍍
유궤박막%균균성%몽특잡락%진공증도
利用Monte Carlo方法对真空蒸发系统下的有机薄膜生长过程进行了模拟.在该系统模型中,Ns个点蒸发源均匀分布在半径为R的圆周上,基板相对蒸发源所在平面距离为d.利用该模型分析了膜厚分布以及点蒸发源个数Ns、蒸发源与基板的相对位置R和d对薄膜厚度均匀性的影响,并通过实验对仿真结果进行了验证.结果显示,增加蒸发源个数、增大相对基板位置均可以有效提高薄膜的均匀性,测试发现薄膜样品的精度MaX-Min均保持在5%左右.
利用Monte Carlo方法對真空蒸髮繫統下的有機薄膜生長過程進行瞭模擬.在該繫統模型中,Ns箇點蒸髮源均勻分佈在半徑為R的圓週上,基闆相對蒸髮源所在平麵距離為d.利用該模型分析瞭膜厚分佈以及點蒸髮源箇數Ns、蒸髮源與基闆的相對位置R和d對薄膜厚度均勻性的影響,併通過實驗對倣真結果進行瞭驗證.結果顯示,增加蒸髮源箇數、增大相對基闆位置均可以有效提高薄膜的均勻性,測試髮現薄膜樣品的精度MaX-Min均保持在5%左右.
이용Monte Carlo방법대진공증발계통하적유궤박막생장과정진행료모의.재해계통모형중,Ns개점증발원균균분포재반경위R적원주상,기판상대증발원소재평면거리위d.이용해모형분석료막후분포이급점증발원개수Ns、증발원여기판적상대위치R화d대박막후도균균성적영향,병통과실험대방진결과진행료험증.결과현시,증가증발원개수、증대상대기판위치균가이유효제고박막적균균성,측시발현박막양품적정도MaX-Min균보지재5%좌우.
