机电工程
機電工程
궤전공정
MECHANICAL & ELECTRICAL ENGINEERING MAGAZINE
2011年
2期
180-183
,共4页
O形圈密封%燕尾槽%有限元%拉伸率%压缩率
O形圈密封%燕尾槽%有限元%拉伸率%壓縮率
O형권밀봉%연미조%유한원%랍신솔%압축솔
为解决在真空腔体中如何利用燕尾槽进行O形圈密封的问题,首先介绍了燕尾槽在金属有机物化学气相沉积(MOCVD)设备研制中的应用,接着介绍了O形圈密封失效的准则,然后利用ANSYS商用软件对不同规格的O形圈及相应的燕尾槽建立了模型,并进行了分析和计算,最后得到了具有较高工程指导价值的结论.研究结果表明,在O形圈密封中,当密封槽采用燕尾槽时,O形圈的压缩率取20%左右,真空腔体的密封性能良好.
為解決在真空腔體中如何利用燕尾槽進行O形圈密封的問題,首先介紹瞭燕尾槽在金屬有機物化學氣相沉積(MOCVD)設備研製中的應用,接著介紹瞭O形圈密封失效的準則,然後利用ANSYS商用軟件對不同規格的O形圈及相應的燕尾槽建立瞭模型,併進行瞭分析和計算,最後得到瞭具有較高工程指導價值的結論.研究結果錶明,在O形圈密封中,噹密封槽採用燕尾槽時,O形圈的壓縮率取20%左右,真空腔體的密封性能良好.
위해결재진공강체중여하이용연미조진행O형권밀봉적문제,수선개소료연미조재금속유궤물화학기상침적(MOCVD)설비연제중적응용,접착개소료O형권밀봉실효적준칙,연후이용ANSYS상용연건대불동규격적O형권급상응적연미조건립료모형,병진행료분석화계산,최후득도료구유교고공정지도개치적결론.연구결과표명,재O형권밀봉중,당밀봉조채용연미조시,O형권적압축솔취20%좌우,진공강체적밀봉성능량호.
