南昌航空大学学报（自然科学版）
南昌航空大學學報（自然科學版）
남창항공대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF NANCHANG HANGKONG UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2010年
4期
12-15
,共4页
数字微反射镜%铬版掩模%二元光学元件%精缩投影系统
數字微反射鏡%鉻版掩模%二元光學元件%精縮投影繫統
수자미반사경%락판엄모%이원광학원건%정축투영계통
文章提出了一种利用数字微反射镜进行数字掩模光刻成像,以铬膜玻璃为基板,在其上面制作二元光学掩模.将设计好的CAD电脑图形以后缀为bmp文件格式输出,导入到基于DMD的数字掩模成像系统,经过曝光、显影、定影、蚀刻及去胶工艺即可得到需要的掩模.此掩模可用于精缩投影系统,在晶圆片上得到比掩模图形小得多的图案,以达到高分辨率的要求.
文章提齣瞭一種利用數字微反射鏡進行數字掩模光刻成像,以鉻膜玻璃為基闆,在其上麵製作二元光學掩模.將設計好的CAD電腦圖形以後綴為bmp文件格式輸齣,導入到基于DMD的數字掩模成像繫統,經過曝光、顯影、定影、蝕刻及去膠工藝即可得到需要的掩模.此掩模可用于精縮投影繫統,在晶圓片上得到比掩模圖形小得多的圖案,以達到高分辨率的要求.
문장제출료일충이용수자미반사경진행수자엄모광각성상,이락막파리위기판,재기상면제작이원광학엄모.장설계호적CAD전뇌도형이후철위bmp문건격식수출,도입도기우DMD적수자엄모성상계통,경과폭광、현영、정영、식각급거효공예즉가득도수요적엄모.차엄모가용우정축투영계통,재정원편상득도비엄모도형소득다적도안,이체도고분변솔적요구.
