稀有金属
稀有金屬
희유금속
CHINESE JOURNAL OF RARE METALS
2012年
3期
446-449
,共4页
刘大力%冯泉林%周旗钢%何自强%常麟%闫志瑞
劉大力%馮泉林%週旂鋼%何自彊%常麟%閆誌瑞
류대력%풍천림%주기강%하자강%상린%염지서
颗粒缺陷%外延%SP1%拉速
顆粒缺陷%外延%SP1%拉速
과립결함%외연%SP1%랍속
研究了不同拉晶速率对300 mm硅外延片表面缺陷的影响,SP1(表面激光颗粒扫描仪)测试结果表明:较低的拉晶速率下,外延片表面出现环状颗粒缺陷分布带；较高的拉晶速率下,外延片表面的环形缺陷带消失.利用Femag-CZ软件模拟了不同速率下晶体的生长结果,结合其c；-cv分布图,分析出这种环状分布的颗粒缺陷是由于晶体中间隙原子富集区产生的微缺陷,在外延过程中( 1050℃)聚集长大,从而在界面处造成晶格畸变引起的.随着衬底拉速的降低,间隙原子富集区的面积增大,硅片外延后越容易出现环状分布的颗粒缺陷.因此在单晶拉制过程中,为了避免这种环状缺陷的产生,应适当提高晶体的拉速.
研究瞭不同拉晶速率對300 mm硅外延片錶麵缺陷的影響,SP1(錶麵激光顆粒掃描儀)測試結果錶明:較低的拉晶速率下,外延片錶麵齣現環狀顆粒缺陷分佈帶；較高的拉晶速率下,外延片錶麵的環形缺陷帶消失.利用Femag-CZ軟件模擬瞭不同速率下晶體的生長結果,結閤其c；-cv分佈圖,分析齣這種環狀分佈的顆粒缺陷是由于晶體中間隙原子富集區產生的微缺陷,在外延過程中( 1050℃)聚集長大,從而在界麵處造成晶格畸變引起的.隨著襯底拉速的降低,間隙原子富集區的麵積增大,硅片外延後越容易齣現環狀分佈的顆粒缺陷.因此在單晶拉製過程中,為瞭避免這種環狀缺陷的產生,應適噹提高晶體的拉速.
연구료불동랍정속솔대300 mm규외연편표면결함적영향,SP1(표면격광과립소묘의)측시결과표명:교저적랍정속솔하,외연편표면출현배상과립결함분포대；교고적랍정속솔하,외연편표면적배형결함대소실.이용Femag-CZ연건모의료불동속솔하정체적생장결과,결합기c；-cv분포도,분석출저충배상분포적과립결함시유우정체중간극원자부집구산생적미결함,재외연과정중( 1050℃)취집장대,종이재계면처조성정격기변인기적.수착츤저랍속적강저,간극원자부집구적면적증대,규편외연후월용역출현배상분포적과립결함.인차재단정랍제과정중,위료피면저충배상결함적산생,응괄당제고정체적랍속.
