中国西部科技
中國西部科技
중국서부과기
SCIENCE AND TECHNOLOGY OF WEST CHINA
2008年
6期
10-12
,共3页
李平贵%龚勇清%何兴道%刘智怀%张贵红
李平貴%龔勇清%何興道%劉智懷%張貴紅
리평귀%공용청%하흥도%류지부%장귀홍
微光学%分辨率%光刻胶%最佳参数
微光學%分辨率%光刻膠%最佳參數
미광학%분변솔%광각효%최가삼수
光刻法作为微光学元件的主要生产工艺,如何提高光刻加工工艺已经成为一个日益紧迫的问题.本文使用北京化学试荆研究所生产的BP-213系列紫外正型光刻胶,以分辨率板直接作为参考对象来判删光刻工艺的分辨率,并且在优化各控制变量的前提下,得出最佳工艺参数井对噪声进行分析.
光刻法作為微光學元件的主要生產工藝,如何提高光刻加工工藝已經成為一箇日益緊迫的問題.本文使用北京化學試荊研究所生產的BP-213繫列紫外正型光刻膠,以分辨率闆直接作為參攷對象來判刪光刻工藝的分辨率,併且在優化各控製變量的前提下,得齣最佳工藝參數井對譟聲進行分析.
광각법작위미광학원건적주요생산공예,여하제고광각가공공예이경성위일개일익긴박적문제.본문사용북경화학시형연구소생산적BP-213계렬자외정형광각효,이분변솔판직접작위삼고대상래판산광각공예적분변솔,병차재우화각공제변량적전제하,득출최가공예삼수정대조성진행분석.
