固体电子学研究与进展
固體電子學研究與進展
고체전자학연구여진전
RESEARCH & PROGRESS OF SOLID STATE ELECTRONICS
2008年
3期
396-399
,共4页
宋欣原%邹德恕%张剑铭%刘思南%沈光地
宋訢原%鄒德恕%張劍銘%劉思南%瀋光地
송흔원%추덕서%장검명%류사남%침광지
退火%反射率%全方位反光镜结构
退火%反射率%全方位反光鏡結構
퇴화%반사솔%전방위반광경결구
对Al/SiO2、Al/ITO、Au/SiO2、Au/ITO构成的ODR(Omni-directional reflector)结构,对应400～800 nm的不同波长,在不同温度下,对于反光镜的反射率的影响,进行了研究.提出了在460 nm的蓝光波段,Al/SiO2金温度在500～700 K时,反射率会达到最小值,温度在700 K以上时,又到常温值,且略微增加;Al/ITO反射率是随着温度变化单调下降的,因此要在Al反光镜的表面采用Ti/Al/Ti/Au的结构,改善反光镜的特性;620 nm的红光波段,Au/SiO2和Au/ITO的合金温度在700 K时,具有最理想的反射率,且Au/SiO2结构的反射效果要优于Au/ITO结构.用实验的方式进行了验证,分析了可能造成反射率变化的原因.
對Al/SiO2、Al/ITO、Au/SiO2、Au/ITO構成的ODR(Omni-directional reflector)結構,對應400～800 nm的不同波長,在不同溫度下,對于反光鏡的反射率的影響,進行瞭研究.提齣瞭在460 nm的藍光波段,Al/SiO2金溫度在500～700 K時,反射率會達到最小值,溫度在700 K以上時,又到常溫值,且略微增加;Al/ITO反射率是隨著溫度變化單調下降的,因此要在Al反光鏡的錶麵採用Ti/Al/Ti/Au的結構,改善反光鏡的特性;620 nm的紅光波段,Au/SiO2和Au/ITO的閤金溫度在700 K時,具有最理想的反射率,且Au/SiO2結構的反射效果要優于Au/ITO結構.用實驗的方式進行瞭驗證,分析瞭可能造成反射率變化的原因.
대Al/SiO2、Al/ITO、Au/SiO2、Au/ITO구성적ODR(Omni-directional reflector)결구,대응400～800 nm적불동파장,재불동온도하,대우반광경적반사솔적영향,진행료연구.제출료재460 nm적람광파단,Al/SiO2금온도재500～700 K시,반사솔회체도최소치,온도재700 K이상시,우도상온치,차략미증가;Al/ITO반사솔시수착온도변화단조하강적,인차요재Al반광경적표면채용Ti/Al/Ti/Au적결구,개선반광경적특성;620 nm적홍광파단,Au/SiO2화Au/ITO적합금온도재700 K시,구유최이상적반사솔,차Au/SiO2결구적반사효과요우우Au/ITO결구.용실험적방식진행료험증,분석료가능조성반사솔변화적원인.
