CAJ | 학술논문

以甲烷为反应气体,氩气为辅助气体,通过大气压介质阻挡放电等离子枪,制备纳米类金刚石.在此过程中,利用发射光谱对甲烷等离子体中产生的活性粒子进行光学发射特征的原位诊断.通过对检测到的发射光谱谱图的研究,证实了CH、C2、Hα等自由基粒子的存在,研究了不同的实验参数,如放电电压和气体流量对CH活性粒子发射强度的影响,并由此分析了甲烷可能的离解过程,同时计算了不同条件下的电子温度.结果表明,随着输入电压及CH4流量的增加,CH自由基的发射强度随之增加.根据掺入甲烷的Ar原子谱线计算出电子温度,其范围在0.4eV～0.6eV之间,而且随着输入电压及气体流量的增加而降低.
이갑완위반응기체,아기위보조기체,통과대기압개질조당방전등리자창,제비납미류금강석.재차과정중,이용발사광보대갑완등리자체중산생적활성입자진행광학발사특정적원위진단.통과대검측도적발사광보보도적연구,증실료CH、C2、Hα등자유기입자적존재,연구료불동적실험삼수,여방전전압화기체류량대CH활성입자발사강도적영향,병유차분석료갑완가능적리해과정,동시계산료불동조건하적전자온도.결과표명,수착수입전압급CH4류량적증가,CH자유기적발사강도수지증가.근거참입갑완적Ar원자보선계산출전자온도,기범위재0.4eV～0.6eV지간,이차수착수입전압급기체류량적증가이강저.