计算机工程与应用
計算機工程與應用
계산궤공정여응용
COMPUTER ENGINEERING AND APPLICATIONS
2011年
5期
246-248
,共3页
刻蚀%仿真%固定点阵
刻蝕%倣真%固定點陣
각식%방진%고정점진
集成电路三维刻蚀仿真模型的原始方案使用的是可变点阵的三维刻蚀仿真模型.但是在这种模型作用下新的刻蚀点空间坐标的误差会随着刻蚀点间距的不断增大而增大,最终的积累误差会导致仿真的效果变差.改进了原有算法,使用了新的固定点阵的离散化数学模型代替原有可变点阵的模型,大幅改善了刻蚀精度和显示效果.并给出了刻蚀仿真的结果并进行了讨论.
集成電路三維刻蝕倣真模型的原始方案使用的是可變點陣的三維刻蝕倣真模型.但是在這種模型作用下新的刻蝕點空間坐標的誤差會隨著刻蝕點間距的不斷增大而增大,最終的積纍誤差會導緻倣真的效果變差.改進瞭原有算法,使用瞭新的固定點陣的離散化數學模型代替原有可變點陣的模型,大幅改善瞭刻蝕精度和顯示效果.併給齣瞭刻蝕倣真的結果併進行瞭討論.
집성전로삼유각식방진모형적원시방안사용적시가변점진적삼유각식방진모형.단시재저충모형작용하신적각식점공간좌표적오차회수착각식점간거적불단증대이증대,최종적적루오차회도치방진적효과변차.개진료원유산법,사용료신적고정점진적리산화수학모형대체원유가변점진적모형,대폭개선료각식정도화현시효과.병급출료각식방진적결과병진행료토론.
