真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2011年
4期
381-385
,共5页
翁卫祥%贾贞%于光龙%李昱%郭太良
翁衛祥%賈貞%于光龍%李昱%郭太良
옹위상%가정%우광룡%리욱%곽태량
Cr/Cu/Ag/Cu/Cr薄膜%薄膜电极%表面形貌%防氧化性能
Cr/Cu/Ag/Cu/Cr薄膜%薄膜電極%錶麵形貌%防氧化性能
Cr/Cu/Ag/Cu/Cr박막%박막전겁%표면형모%방양화성능
采用直流磁控溅射技术和光刻工艺制备了Cr/Cu/Ag/Cu/Cr复合薄膜及其电极,研究不同温度热处理对复合薄膜和电极结构、表面形貌和电性能的影响.Ag层与最外层的Cr层之间的Cu层不仅增强了Cr和Ag之间的粘附力,而且起到了牺牲层和氧气阻挡层的作用；Cr和Cu对Ag的双重保护使得薄膜电极在温度小于500℃时电阻率保持较为稳定,约为3.0×10-8～4.2×10-8 Ω·m之间.然而由于电极表面氧化和边沿氧化的共同作用,薄膜电极的电阻率在热处理温度超过575℃出现了显著的上升.尽管如此,Cr/Cu/Ag/Cu/Cr薄膜电极仍然是一种能够承受高温热处理并且保持较低电阻率的新型电极,满足场发射平板显示器封接过程中的热处理要求.
採用直流磁控濺射技術和光刻工藝製備瞭Cr/Cu/Ag/Cu/Cr複閤薄膜及其電極,研究不同溫度熱處理對複閤薄膜和電極結構、錶麵形貌和電性能的影響.Ag層與最外層的Cr層之間的Cu層不僅增彊瞭Cr和Ag之間的粘附力,而且起到瞭犧牲層和氧氣阻擋層的作用；Cr和Cu對Ag的雙重保護使得薄膜電極在溫度小于500℃時電阻率保持較為穩定,約為3.0×10-8～4.2×10-8 Ω·m之間.然而由于電極錶麵氧化和邊沿氧化的共同作用,薄膜電極的電阻率在熱處理溫度超過575℃齣現瞭顯著的上升.儘管如此,Cr/Cu/Ag/Cu/Cr薄膜電極仍然是一種能夠承受高溫熱處理併且保持較低電阻率的新型電極,滿足場髮射平闆顯示器封接過程中的熱處理要求.
채용직류자공천사기술화광각공예제비료Cr/Cu/Ag/Cu/Cr복합박막급기전겁,연구불동온도열처리대복합박막화전겁결구、표면형모화전성능적영향.Ag층여최외층적Cr층지간적Cu층불부증강료Cr화Ag지간적점부력,이차기도료희생층화양기조당층적작용；Cr화Cu대Ag적쌍중보호사득박막전겁재온도소우500℃시전조솔보지교위은정,약위3.0×10-8～4.2×10-8 Ω·m지간.연이유우전겁표면양화화변연양화적공동작용,박막전겁적전조솔재열처리온도초과575℃출현료현저적상승.진관여차,Cr/Cu/Ag/Cu/Cr박막전겁잉연시일충능구승수고온열처리병차보지교저전조솔적신형전겁,만족장발사평판현시기봉접과정중적열처리요구.
