压电与声光
壓電與聲光
압전여성광
PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS
2011年
6期
930-934
,共5页
宋小鹏%张丛%赵玉林%尹彦梅%石归雄%薛晨阳
宋小鵬%張叢%趙玉林%尹彥梅%石歸雄%薛晨暘
송소붕%장총%조옥림%윤언매%석귀웅%설신양
矢量水听器%微机械电子(MEMS)%误差%纤毛
矢量水聽器%微機械電子(MEMS)%誤差%纖毛
시량수은기%미궤계전자(MEMS)%오차%섬모
针对一种纤毛式微机械电子(MEMS)矢量水听器的工作原理进行分析,通过分析得出该矢量微传感器的定位误差主要来源于纤毛柱体的偏差.通过有限元仿真分析得出纤毛柱体的偏差对矢量水听器在两个方向上的灵敏度有较大影响,理论计算出在纤毛偏移下2个轴向灵敏度度误差为9.74％.对水听器结构进行轴向灵敏度测试,测出x向灵敏度为0.683 mV/g(其中g为重力加速度),y向灵敏度为0.755 mV/g,两个方向上灵敏度相对误差为9.5％,与仿真结果接近.
針對一種纖毛式微機械電子(MEMS)矢量水聽器的工作原理進行分析,通過分析得齣該矢量微傳感器的定位誤差主要來源于纖毛柱體的偏差.通過有限元倣真分析得齣纖毛柱體的偏差對矢量水聽器在兩箇方嚮上的靈敏度有較大影響,理論計算齣在纖毛偏移下2箇軸嚮靈敏度度誤差為9.74％.對水聽器結構進行軸嚮靈敏度測試,測齣x嚮靈敏度為0.683 mV/g(其中g為重力加速度),y嚮靈敏度為0.755 mV/g,兩箇方嚮上靈敏度相對誤差為9.5％,與倣真結果接近.
침대일충섬모식미궤계전자(MEMS)시량수은기적공작원리진행분석,통과분석득출해시량미전감기적정위오차주요래원우섬모주체적편차.통과유한원방진분석득출섬모주체적편차대시량수은기재량개방향상적령민도유교대영향,이론계산출재섬모편이하2개축향령민도도오차위9.74％.대수은기결구진행축향령민도측시,측출x향령민도위0.683 mV/g(기중g위중력가속도),y향령민도위0.755 mV/g,량개방향상령민도상대오차위9.5％,여방진결과접근.
