物理学报
物理學報
물이학보
2004年
2期
503-507
,共5页
刘元富%张谷令%王久丽%刘赤子%杨思泽
劉元富%張穀令%王久麗%劉赤子%楊思澤
류원부%장곡령%왕구려%류적자%양사택
脉冲高能量密度等离子体%TiN膜%显微组织%耐磨性
脈遲高能量密度等離子體%TiN膜%顯微組織%耐磨性
맥충고능량밀도등리자체%TiN막%현미조직%내마성
利用脉冲高能量密度等离子体技术在室温条件下在45号钢基材上制备出了超硬耐磨TiN薄膜.利用XRD,XPS,AES,SEM等手段分析了薄膜的成分及显微组织结构,并测试了薄膜的硬度分布及摩擦磨损性能.结果表明:薄膜主要组成相为TiN,薄膜组织致密、均匀,与基材之间存在较宽的混合界面;薄膜硬度高,在干滑动磨损实验条件下具有优异的耐磨性及较低的摩擦系数.
利用脈遲高能量密度等離子體技術在室溫條件下在45號鋼基材上製備齣瞭超硬耐磨TiN薄膜.利用XRD,XPS,AES,SEM等手段分析瞭薄膜的成分及顯微組織結構,併測試瞭薄膜的硬度分佈及摩抆磨損性能.結果錶明:薄膜主要組成相為TiN,薄膜組織緻密、均勻,與基材之間存在較寬的混閤界麵;薄膜硬度高,在榦滑動磨損實驗條件下具有優異的耐磨性及較低的摩抆繫數.
이용맥충고능량밀도등리자체기술재실온조건하재45호강기재상제비출료초경내마TiN박막.이용XRD,XPS,AES,SEM등수단분석료박막적성분급현미조직결구,병측시료박막적경도분포급마찰마손성능.결과표명:박막주요조성상위TiN,박막조직치밀、균균,여기재지간존재교관적혼합계면;박막경도고,재간활동마손실험조건하구유우이적내마성급교저적마찰계수.
