哈尔滨商业大学学报(自然科学版)
哈爾濱商業大學學報(自然科學版)
합이빈상업대학학보(자연과학판)
JOURNAL OF HARBIN UNIVERSITY OF COMMERCE(NATURAL SCIENCES EDITION)
2004年
3期
300-303,336
,共5页
卫星%高精度%压力%压阻式%传感器
衛星%高精度%壓力%壓阻式%傳感器
위성%고정도%압력%압조식%전감기
介绍了星用高精度压力传感器的枝术要求、工作原理、结构设计与电路设计及试验结果;对研制过程中的关键技术及解决方法进行了探讨传感器是依据硅微压阻效应原理,采用相关半导体平面工艺技术、微机械加工技术以及电子线路中信号调理与补偿技术,将压力敏感元件与调理电路一体化封装在壳体内传感器具有非线性好、工作温度范围宽、抗冲击过载、性能稳定可靠等特点.
介紹瞭星用高精度壓力傳感器的枝術要求、工作原理、結構設計與電路設計及試驗結果;對研製過程中的關鍵技術及解決方法進行瞭探討傳感器是依據硅微壓阻效應原理,採用相關半導體平麵工藝技術、微機械加工技術以及電子線路中信號調理與補償技術,將壓力敏感元件與調理電路一體化封裝在殼體內傳感器具有非線性好、工作溫度範圍寬、抗遲擊過載、性能穩定可靠等特點.
개소료성용고정도압력전감기적지술요구、공작원리、결구설계여전로설계급시험결과;대연제과정중적관건기술급해결방법진행료탐토전감기시의거규미압조효응원리,채용상관반도체평면공예기술、미궤계가공기술이급전자선로중신호조리여보상기술,장압력민감원건여조리전로일체화봉장재각체내전감기구유비선성호、공작온도범위관、항충격과재、성능은정가고등특점.
