功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2004年
4期
498-502
,共5页
蒋玉齐%程迎军%张鲲%李昕欣%罗乐
蔣玉齊%程迎軍%張鯤%李昕訢%囉樂
장옥제%정영군%장곤%리흔흔%라악
高量程加速度计%灌封%有限元分析%MEMS
高量程加速度計%灌封%有限元分析%MEMS
고량정가속도계%관봉%유한원분석%MEMS
对双悬臂梁高量程 MEMS加速度传感器的封装结构进行了 1× 105g峰值的半正弦加速度 冲击载荷下的有限元响应分析.灌封胶弹性模量的变化对加速度计的输出信号(输出电压、悬臂 梁的挠度)的影响可以忽略.输出电压曲线的峰值与解析解接近.加速度计的悬臂梁表现为有阻 尼下的受迫振动,并表现出悬臂梁的固有频率特性.输出信号的峰值与加速度载荷的峰值均呈很 好的线性关系.灌封胶的弹性模量大于 4GPa时胶已经足够硬,适宜用于保护芯片.
對雙懸臂樑高量程 MEMS加速度傳感器的封裝結構進行瞭 1× 105g峰值的半正絃加速度 遲擊載荷下的有限元響應分析.灌封膠彈性模量的變化對加速度計的輸齣信號(輸齣電壓、懸臂 樑的撓度)的影響可以忽略.輸齣電壓麯線的峰值與解析解接近.加速度計的懸臂樑錶現為有阻 尼下的受迫振動,併錶現齣懸臂樑的固有頻率特性.輸齣信號的峰值與加速度載荷的峰值均呈很 好的線性關繫.灌封膠的彈性模量大于 4GPa時膠已經足夠硬,適宜用于保護芯片.
대쌍현비량고량정 MEMS가속도전감기적봉장결구진행료 1× 105g봉치적반정현가속도 충격재하하적유한원향응분석.관봉효탄성모량적변화대가속도계적수출신호(수출전압、현비 량적뇨도)적영향가이홀략.수출전압곡선적봉치여해석해접근.가속도계적현비량표현위유조 니하적수박진동,병표현출현비량적고유빈솔특성.수출신호적봉치여가속도재하적봉치균정흔 호적선성관계.관봉효적탄성모량대우 4GPa시효이경족구경,괄의용우보호심편.
