物理学报
物理學報
물이학보
2005年
6期
2645-2652
,共8页
完全非共振激光驻波场%原子聚焦%纳米结构制作
完全非共振激光駐波場%原子聚焦%納米結構製作
완전비공진격광주파장%원자취초%납미결구제작
用完全非共振激光驻波场对热原子束实现纳米量级的聚焦,可以降低原子光刻试验的难度.用蒙特卡罗算法和轨迹模拟法分析原子源对原子聚焦的影响,结果表明靶的有效尺寸对纳米图形线宽的影响远大于原子束的发散角和原子的纵向速度分布.提出几种改进试验的方法.
用完全非共振激光駐波場對熱原子束實現納米量級的聚焦,可以降低原子光刻試驗的難度.用矇特卡囉算法和軌跡模擬法分析原子源對原子聚焦的影響,結果錶明靶的有效呎吋對納米圖形線寬的影響遠大于原子束的髮散角和原子的縱嚮速度分佈.提齣幾種改進試驗的方法.
용완전비공진격광주파장대열원자속실현납미량급적취초,가이강저원자광각시험적난도.용몽특잡라산법화궤적모의법분석원자원대원자취초적영향,결과표명파적유효척촌대납미도형선관적영향원대우원자속적발산각화원자적종향속도분포.제출궤충개진시험적방법.
