真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2006年
3期
200-203
,共4页
刘艳%董云杉%黄家桢%张利中%李戈扬
劉豔%董雲杉%黃傢楨%張利中%李戈颺
류염%동운삼%황가정%장리중%리과양
Zr-Si-N薄膜%反应溅射%微结构%力学性能
Zr-Si-N薄膜%反應濺射%微結構%力學性能
Zr-Si-N박막%반응천사%미결구%역학성능
在Ar、N2混合气氛中,通过双靶反应磁控溅射方法制备了一系列不同Si含量的Zr-Si-N复合薄膜,采用EDS、XRD、SEM、AFM和微力学探针表征了复合膜的成分、相组成、微结构和力学性能.结果表明:随着Si的加入,Si3N4界面相形成于ZrN晶粒表面并阻止其长大.低Si含量下,晶粒的细化使Zr-Si-N薄膜得到强化,在Si含量为6.2at%时其硬度和弹性模量分别达到最高值29.8 GPa和352 GPa.继续增加Si的含量,薄膜逐渐向非晶态转变,同时产生ZrxSiy相,并伴随有明显的力学性能降低.Zr-Si-N薄膜力学性能增加受到限制,可能与Si3N4界面相和ZrN晶粒之间的低润湿性有关.
在Ar、N2混閤氣氛中,通過雙靶反應磁控濺射方法製備瞭一繫列不同Si含量的Zr-Si-N複閤薄膜,採用EDS、XRD、SEM、AFM和微力學探針錶徵瞭複閤膜的成分、相組成、微結構和力學性能.結果錶明:隨著Si的加入,Si3N4界麵相形成于ZrN晶粒錶麵併阻止其長大.低Si含量下,晶粒的細化使Zr-Si-N薄膜得到彊化,在Si含量為6.2at%時其硬度和彈性模量分彆達到最高值29.8 GPa和352 GPa.繼續增加Si的含量,薄膜逐漸嚮非晶態轉變,同時產生ZrxSiy相,併伴隨有明顯的力學性能降低.Zr-Si-N薄膜力學性能增加受到限製,可能與Si3N4界麵相和ZrN晶粒之間的低潤濕性有關.
재Ar、N2혼합기분중,통과쌍파반응자공천사방법제비료일계렬불동Si함량적Zr-Si-N복합박막,채용EDS、XRD、SEM、AFM화미역학탐침표정료복합막적성분、상조성、미결구화역학성능.결과표명:수착Si적가입,Si3N4계면상형성우ZrN정립표면병조지기장대.저Si함량하,정립적세화사Zr-Si-N박막득도강화,재Si함량위6.2at%시기경도화탄성모량분별체도최고치29.8 GPa화352 GPa.계속증가Si적함량,박막축점향비정태전변,동시산생ZrxSiy상,병반수유명현적역학성능강저.Zr-Si-N박막역학성능증가수도한제,가능여Si3N4계면상화ZrN정립지간적저윤습성유관.
